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J-GLOBAL ID：201502219556177947   整理番号：15A0880187

SU-8/Feコンポジットを用いた磁気駆動型マイクロバルブの開発

Development of magnetically driven micro valve using SU-8/Fe composite

著者 (6件)： 鈴木淳也 (香川大) ,  寺尾京平 (香川大) ,  高尾英邦 (香川大) ,  下川房男 (香川大) ,  大平文和 (香川大) ,  鈴木孝明 (群馬大)
資料名： 日本AEM学会誌  (Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics)
巻： 23  号： 2  ページ： 407-413  発行年： 2015年06月10日 
JST資料番号： L2703A  ISSN： 0919-4452  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： これまで取得したSU-8/Fe複合材料に関する機械的特性および機能性の評価結果をデバイス設計および製作プロセスに適用し,マイクロ流体システムにおいて,サンプルや試薬などの流量やタイミングを調節する重要な要素であるマイクロバルブを製作した。このバルブを,ソフトマイクロマシニング技術をベースとした簡易な加工法によって微小駆動を製作し,従来のマイクロバルブ製作における課題である複雑駆動構造の形成や加工時間の改善を図った。さらに,チャンバー内にバルブ素子を封入したマイクロバルブチップの耐圧性能とリーク量を評価し,その有用性を検証した。耐圧性能9.0kPa,排出量低減率63%の性能をもつバルブチップであることを確認した。

シソーラス用語： *フォトレジスト ,  鉄 ,  *複合材料 ,  電磁駆動 ,  *弁 ,  MEMS ,  マイクロマシニング ,  *マイクロバルブ ,  *フォトレジストSU-8
準シソーラス用語： Fe ,  *SU-8 ,  *コンポジット ,  磁気駆動

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電磁機器  (NB10030C)

引用文献 (11件)：

• [1] J. M. Ruano-L'opez et al., “A new SU-8 process to integrate buried waveguide and sealed microchannels for a lab-on-a-Chip”, Sensor and Actuators B: Chemical, Vol. 114, pp. 542-551 (2006).
• [2] F. J. Blanco et al., “3-D Polymeric Microfluidic devices for BioMEMS applications”, Proceeding of SPIE, Vol. 5839, pp. 127-137 (2005).
• [3] B. Cortese et al., “Characterisation of an irreversible bonding process for COC-COC and COC-PDMS-COC sandwich structures and application to microvalves”, Sensor and Actuators B: Chemical, Vol. 160, pp. 1473-1480 (2011).
• [4] D. Kim, et al., “A bi-polymer micro one way valve”, Sensor and Actuators A: Physical, Vol. 136, pp. 426-433 (2007).
• [5] H. C. Chiamori et al., “Suspension of nanoparticles in SU-8: Processing and characterization of nanocomposite polymers”, Microelectronics journal, Vol. 39, pp. 228-236 (2011).

タイトルに関連する用語 (6件)： SU-8 ,  Fe ,  コンポジット ,  磁気駆動 ,  マイクロバルブ ,  開発