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J-GLOBAL ID：201502219954562290   整理番号：15A1022470

特殊鋼を支える分析・検査技術 III.特殊鋼に使われる分析技術 2.極表面分析(GDS,AES,XPS,SIMS)

著者 (2件)： 田中幸基 (日鉄住金テクノロジー) ,  祐谷将人 (新日鐵住金 鉄鋼研)
資料名： 特殊鋼  (Special Steel)
巻： 64  号： 5  ページ： 24-29  発行年： 2015年09月01日 
JST資料番号： F0349A  ISSN： 0495-7644  CODEN： TOKSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 合金の組成,構造,組織などの情報を得ることは,合金設計や製造条件の指針を得るために重要である。本稿では,代表的な表面分析法を四つ取り上げ,その原理,特徴,分析事例を紹介した。1)グロー放電発光分析法(GDS):短時間でのバルクの定量分析,深さ方向(最表面~数nm)の元素分布測定に用いられる。絶縁物の分析も可能で表面コーティングなどの表面組成や界面の元素分析に有効である。2)オージェ電子分光法(AES):微小領域10nm以下の深さ方向(最表面~数nm)の元素分布測定に用いられる。分析例として鋼中のP粒界偏析を示した。3)X線光電子分光法(XPS):試料表面の組成を定量化するとともに,元素の化学状態に関する情報が得られる。分析例としてステンレス鋼の孔食部(Fe,Crが金属状態)を示した。4)二次イオン質量(SIMS):表面の水素を始め,ほとんどの元素を高感度で分析できる。分析例として鋼中のB粒界偏析を示した。

シソーラス用語： *特殊鋼 ,  *定量分析 ,  鉄鋼分析 ,  深さプロフィル ,  原子発光分析 ,  グロー放電 ,  Auger分光法 ,  X線光電子分光法 ,  二次イオン質量分析 ,  *表面分析 ,  深さ分析 ,  元素分布 ,  グロー放電発光分析
準シソーラス用語： Auger電子分光法 ,  SIMS【質量分析】 ,  XPS法 ,  グロー放電発光分光法 ,  分析技術

分類 (2件)： 金属組織観察法  (WB01010R) ,  鉄鋼材料  (WE02000W)

引用文献 (7件)：

• 日本工業規格 JISO144:2001
• 例えば Shigeru Suzuki, Shigeo Sato and Kazutoshi Kakita, (ア) Journal of Surface Analysis 14 (2008) 416
• 例えば、 日本表面科学会 オージェ電子分光法 (表面分析技術選書) 丸善株式会社 (2001)
• 例えば、 日本表面科学会 X線光電子分光 (表面分析技術選書) 丸善株式会社 (1998)
• 例えば、 D.ブリッグス、 M.P.シーア、 表面分析: SIMS-二次イオン質量分析法の基礎と応用 アグネ承風社 (2004/03)

タイトルに関連する用語 (8件)： 特殊鋼 ,  分析 ,  分析技術 ,  表面分析 ,  GDS ,  AES ,  XPS ,  SIMS