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J-GLOBAL ID：201502220000457493   整理番号：15A1165000

位相シフトと位相走査測定モードのNewton干渉計

Newton interferometer with phase-shifting and phase-scanning measurement modes

著者 (5件)： TRINH Hung-Xuan (Dep. of Electro-optical Engineering, National Taipei Univ. of Technol., Taiwan) ,  LIN Shyh-Tsong (Dep. of Electro-optical Engineering, National Taipei Univ. of Technol., Taiwan) ,  CHEN Liang-Chia (Dep. of Mechanical Engineering, National Taiwan Univ., Taiwan) ,  YEH Sheng-Lih (Dep. of Mechanical Engineering, Lunghwa Univ. of Sci. and Technol., Taiwan) ,  HOANG Hong-Hai (Inst. of Automation Technol., National Taipei Univ. of Technol., Taiwan)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 234  ページ： 188-194  発行年： 2015年10月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 位相補償モジュール(PCM)とNewton干渉計モジュール(NIM)から成る新しいNewton干渉計を提案し,表面平坦性と表面段差高さなどの表面輪郭を測定した。PCMが入力光線を2つのサブ光線に分離し,NIMは2つのサブ光線を更に2つのサブ-サブ光線に分割し,干渉長さ以内の行路差の光線の干渉により形成した干渉パターンに位相情報と輪郭を伝えた。2つの測定モード,位相シフトと位相走査は干渉パターンの操作と表面輪郭を取り戻すために採用した。位相シフト測定モードは,狭帯域の光源を含み,平滑な表面の試験に適しており,位相走査モードは広帯域の光源を用い,平滑な表面と段差のある表面の測定に使用した。最初に,測定理論と干渉計を実現するセットアップを紹介し,次にセットアップの使用と,2つの実験,位相シフトモードを用いるゲージブロックの平坦性を決めるための実験,シリコン基板上の段差の高さを位相走査モードを用いて決める実験,を報告した。実験結果は提案した干渉計の妥当性と実行可能性を明らかにした。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *位相シフト ,  *位相 ,  *走査 ,  干渉計 ,  *平坦性 ,  高さ ,  分離 ,  干渉
準シソーラス用語： *段差

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  光学情報処理  (BD03060T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 位相シフト ,  位相 ,  走査 ,  干渉計