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J-GLOBAL ID：201502220128637427   整理番号：15A0976409

電界分散を用いた非熱的大気圧プラズマジェットの安定性改善

Stability improvement of nonthermal atmospheric-pressure plasma jet using electric field dispersion

著者 (4件)： LEE Changmin (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Ajou Univ., Suwon 443-749, KOR) ,  KIM Taejung (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Ajou Univ., Suwon 443-749, KOR) ,  PARK Hyungjun (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Ajou Univ., Suwon 443-749, KOR) ,  YANG Sang Sik (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Ajou Univ., Suwon 443-749, KOR)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 145  ページ： 153-159  発行年： 2015年09月01日 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電界を分散した非熱的大気圧プラズマジェットデバイスを提案し,製作してテストした。デバイスには,マイクロマシニングプロセスによって製作したミクロンサイズの穴のあるニッケル電極を付けた。生成される反応種がガスに依存し,反応種の強度が穴のサイズに依存することを,プラズマジェットの発光スペクトル(OES)から確認した。また,生物医学への応用のために,プラズマジェット中のNO濃度と,典型的な細胞培養培地に溶解したオゾン濃度を測定した。特性評価のために,プラズマ放電中に測定した電圧と電流からプラズマの電子密度と電子温度を算出した。中でも,提案装置の電極が,電界分散のない従来装置に比べて長く持ちこたえ,プラズマを安定して発生することを観察した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *プラズマ ,  安定性 ,  電場 ,  分散【dispersion】 ,  *プラズマジェット ,  マイクロマシニング ,  電極 ,  発光スペクトル ,  利用 ,  一酸化窒素 ,  一酸化炭素
準シソーラス用語： ニッケル電極 ,  プラズマ安定性 ,  生物医学応用 ,  *大気圧プラズマジェット ,  電界 ,  *非熱的プラズマ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電界 ,  大気圧プラズマジェット ,  安定性