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J-GLOBAL ID：201502220494810654   整理番号：15A1028148

マイクロ触覚プローブを適用した偏心非点収差法の特性評価

Property Evaluation of Eccentric Astigmatic Method to Apply Micro Tactile Probe

著者 (4件)： SHIMIZU Hiroki (Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN) ,  OGAWA Atsuo (Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN) ,  SASAKI Yoshinori (Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN) ,  TAMARU Yuuma (Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN)
資料名： International Journal of Automation Technology  (International Journal of Automation Technology)
巻： 9  号： 5  ページ： 551-557  発行年： 2015年09月05日 
JST資料番号： L0997B  ISSN： 1881-7629  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 小型球の高感度の変位検出は,マイクロ座標測定機(CMM)で使用されるマイクロ触覚プローブを実現することが必要である。したがって,著者らは,「偏心非点収差法(EAM)」と呼ばれる,一種の非点収差法によって,小球の三次元変位を検出する新しい手法を提案した。EAMでは,球状触覚プローブとして球面ミラーを対物レンズ焦点上に配置した。この位置では,対物レンズにより集光された3の偏心ビームは,ミラー面に直角に入射し,反射光は入射経路に戻る。これとは,逆に,球が僅かな距離でも,この位置から移動した場合,各反射光線の反射経路は大幅に変化する。この変化を,集光レンズと光検出器を使用してEAMによって検出することができる。EAMによって生じるスポット径の変化を,レイトレーシングコードを用いて計算した。その結果,スポット形状の変化は,1つの軸のみに沿って変位を生じることが判った。また,波動光学に基づいたシミュレーションを行い,その結果,EAMによって球の三次元変位を検出できる実現可能性を確認できた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 非点収差 ,  偏心 ,  触覚 ,  プローブ ,  *マイクロプローブ ,  *変位測定 ,  *座標測定機 ,  レンダリング ,  波動光学 ,  三次元測定
準シソーラス用語： レイトレーシング

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (21件)：

• G. N. Peggs, A. J. Lewis, and S. Oldfield, “Design for a Compact High-Accuracy CMM,” CIRP Annals - Manufacturing Technology, Vol.48, Issue 1, pp. 417-420, 1999.
• S. Cao, U. Brand, T. Kleine-Besten, W. Hoffmann, H. Schwenke, S. Butefisch, and S. Buttgenbach, “Recent developments in dimensional metrology for microsystem components,” Microsystem Technologies, Vol.8, pp. 3-6, 2002.
• A. Kung, F. Meli, and R. Thalmann, “Ultraprecision micro-CMM using a low force 3D touch probe,” Measurement Science and Technology, Vol.18, pp. 319-327, 1999.
• A. Weckenmann, T. Estler, G. Peggs, and D. McMurtry, “Probing Systems in Dimensional Metrology,” CIRP Annals - Manufacturing Technology, Vol.53, Issue 2, pp. 657-684, 2004.
• H. Schwenke, U. Neuschaefer-Rube, T. Pfeifer, and H. Kunzmann, “Optical Methods for Dimensional Metrology in Production Engineering,” CIRP Annals - Manufacturing Technology, Vol.51, Issue 2, pp. 685-699, 2002.

タイトルに関連する用語 (5件)： 触覚 ,  プローブ ,  偏心 ,  非点収差法 ,  特性評価