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J-GLOBAL ID：201502221106069480   整理番号：15A0642685

真空中の生体試料の観察のため薄いSiウインドウを持つマイクロ流体チャンバ

MICRO FLUIDIC CHAMBER WITH THIN SI WINDOWS FOR OBSERVATION OF BIOLOGICAL SAMPLES IN VACUUM

著者 (3件)： HAYASHI Hideki (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TODA Masaya (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ONO Takahito (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 28th Vol.1  ページ： 344-347  発行年： 2015年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空中の生体試料の観察のため,178nm厚さの薄い単結晶シリコン(Si)ウインドウを持つマイクロ流体チャンバを開発した。電子の加速電圧を増加して,チャンバに充填された挿入脱イオン水の表面を,放出電流が90μAである,15kVで観測することができた。観測された深さは,たとえ加速電圧が25kVの場合でも数μmであったので,標的試料は観測のためウインドウに閉じ込めることが必要であった。時には,気泡が20kVより高い加速で水中に現れた。このため,走査電子顕微鏡観察の条件の最適化を,安定な測定の為必要であった。また,チャンバを,それが欠陥の無い単結晶Siの薄いウインドウを持つので磁気共鳴力顕微鏡に適用できた。

シソーラス用語： *生体試料 ,  流体 ,  実験装置 ,  真空 ,  窓 ,  電圧 ,  脱イオン水 ,  電流 ,  電子顕微鏡観察 ,  最適化 ,  磁気力顕微鏡
準シソーラス用語： ウインドウ ,  *チャンバ ,  *マイクロ流体 ,  加速電圧 ,  磁気共鳴力顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡観察 ,  単結晶シリコン ,  放出電流

分類 (1件)： 生体の顕微鏡観察法  (EA03050C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 真空 ,  生体試料 ,  観察 ,  Si ,  ウインドウ ,  流体チャンバ