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J-GLOBAL ID：201502221109017634   整理番号：15A0506308

超薄膜Pt/Tiを用いたブリッジ型水素センサの開発

著者 (7件)： 井並祥太 (岡山大 工) ,  牛田祐貴 (岡山大) ,  武市修蔵 (岡山大) ,  菅井良祐 (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 62nd  ページ： ROMBUNNO.11P-D13-4  発行年： 2015年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *超薄膜 ,  *ガスセンサ ,  白金 ,  チタン ,  ブリッジ回路 ,  *薄膜抵抗器 ,  水素センサ
準シソーラス用語： 薄膜抵抗体

分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超薄膜 ,  Pt ,  Ti ,  ブリッジ ,  水素センサ ,  開発