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J-GLOBAL ID：201502221234190632   整理番号：15A1263493

電熱作動MEMSステージに基づく非共振ファイバ走査装置

A non-resonant fiber scanner based on an electrothermally-actuated MEMS stage

著者 (5件)： ZHANG Xiaoyang (Dep. of Electrical & Computer Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, FL 32611, USA) ,  DUAN Can (Dep. of Electrical & Computer Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, FL 32611, USA) ,  LIU Lin (Dep. of Electrical & Computer Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, FL 32611, USA) ,  LI Xingde (Dep. of Biomedical Engineering, Johns Hopkins Univ., Baltimore, MD 21205, USA) ,  XIE Huikai (Dep. of Electrical & Computer Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, FL 32611, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 233  ページ： 239-245  発行年： 2015年09月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,大変位MEMSアクチュエータに基づく末端ファイバ走査法を提供した。単一モードファイバを,広範囲の非共振走査を実現するため電熱MEMSステージのマイクロプラットフォームに接着した。マイクロプラットフォームは,たった6Vで800μmまでの大きなピストン走査範囲を持った。ファイバの先端検出を,ファイバに沿った適切な位置にMEMSステージを配置することによりさらに増幅できた。ファイバ-MEMS組立の準静的モデルを開発し実験的に有効化した。周波数応答を研究しそして測定した。MEMS電熱ステージを自由端から25mm離して配置した時,45mm長さの可動ファイバ部分で1650μmまでのファイバ先端たわみを達成した。電熱作動MEMSステージは前方視野ファイバ走査および光学応用のための大きな潜在性を示した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *MEMS ,  *走査装置 ,  繊維 ,  *アクチュエータ ,  単一モードファイバ ,  機械要素 ,  ピストン ,  周波数応答 ,  端部
準シソーラス用語： プラットフォーム【機械】 ,  自由端

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電熱 ,  MEMS ,  ステージ ,  共振 ,  ファイバ ,  走査装置