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J-GLOBAL ID：201502221256460498   整理番号：15A1368308

マイクロ流体ネットワークにおけるナノ流体インターフェイス

Nanofluidic interfaces in microfluidic networks

著者 (3件)： MILLET Larry J. (Biosciences Div. and The Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Lab., Oak Ridge, Tennessee 37831) ,  DOKTYCZ Mitchel J. (Biosciences Div. and The Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Lab., Oak Ridge, Tennessee 37831) ,  RETTERER Scott T. (Biosciences Div. and The Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Lab., Oak Ridge, Tennessee 37831)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 33  号： 6  ページ： 06FM01-06FM01-7  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ流体技術とマイクロ流体技術を統合すれば,関係する長さスケールにわたって物理系と生物系に調整可能なインターフェイスを構築できる。非常に小さい試料体積の化学操作を行う能力は,これら技術を通して大きく増強でき,細胞以下,細胞,及び群落あるいは組織スケールで局所流体環境を操作し,抽出する能力を拡張する。ここでは,SU-8マイクロ流体ネットワーク内に集積したナノ流体チャネルアレイを生成するため,柔軟な表面微細加工過程の開発について記述する。半多孔質のケイ素リッチの窒化ケイ素構造層を使うと,ナノチャネル作製中に犠牲二酸化ケイ素の高速の除去が可能となる。生物試料とインターフェイスを形成するナノチャネル開口は集束イオンビームミリングにより作成した。これらインターフェイスがオンチップ微生物培養との互換性を実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロフルイディクス ,  ネットワーク構造 ,  フォトレジスト ,  窒化ケイ素 ,  マイクロチャネル ,  イオンエッチング ,  培養 ,  *マイクロマシニング
準シソーラス用語： SU-8 ,  イオンミリング ,  ナノチャネル ,  *ナノフルイディクス ,  マイクロ流体チャネル ,  *微生物培養

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  細胞・組織培養法  (EA03040R)

タイトルに関連する用語 (3件)： 流体 ,  ナノ流体 ,  インターフェイス