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J-GLOBAL ID:201502224912749830   整理番号:15A0744558

砥粒の保持特性を大幅に向上させた多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの開発

Development of Porous Epoxy Resin Polishing Pads of Remarkably Improved Retention Properties of Abrasives
著者 (5件):
資料名:
巻: 81  号:ページ: 108-112 (J-STAGE)  発行年: 2015年 
JST資料番号: U0462A  ISSN: 1882-675X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
分類
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研削  ,  機械加工,仕上げ一般 
引用文献 (4件):
  • 1) 村田順二,谷泰弘,広川良一,野村信幸,張宇:ガラス研磨用エポキシ樹脂研磨パッドの開発,日本機械学会論文集 (C編),77,777 (2011) 2153.
  • 2) 野村信幸,広川良一,谷泰弘,村田順二,張宇:エポキシ樹脂研磨パッドによる研磨特性の加工条件依存性,2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,pp. 281-282.
  • 3) 野村信幸,広川良一,谷泰弘,村田順二,張宇:エポキシウレタンパッドによる温度特性改善の効果,2012年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,pp. 51-52.
  • 4) 中川貴裕,張宇,谷泰弘,野村信幸:アミド系硬化剤を用いたエポキシ樹脂研磨パッドの開発,2014年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,pp. 617-618.

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