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J-GLOBAL ID：201502236687643120   整理番号：15A0240249

Zn薄膜のウェット酸化により合成したZnOナノワイヤを組み込んだMEMSアセトンセンサ

A MEMS based acetone sensor incorporating ZnO nanowires synthesized by wet oxidation of Zn film

著者 (2件)： BEHERA Bhagaban (Indian Inst. of Technol. Delhi, New Delhi, IND) ,  CHANDRA Sudhir (Indian Inst. of Technol. Delhi, New Delhi, IND)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 25  号： 1  ページ： 015007,1-9  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnOナノワイヤはガスセンサ用材料として優れた特性を持っている。本研究では,スパッタ蒸着したZn薄膜のウェット酸素雰囲気での熱酸化によりZnOナノワイヤを成長させた。このZnOナノワイヤをMEMS技術によりオンチップNiマイクロヒーターと櫛形電極を集積してアセトンセンサを製作した。マイクロヒーターの熱損失を防ぐため,これらの素子は薄いシリコンダイヤフラム上に集積した。このマイクロヒーターの性能はCOMSOLシミュレーションと実験により検証した。完成したセンサの感度は,100°Cで動作させたときアセトン蒸気5ppmを検出できた。消費電力はわずか36mWであった。

シソーラス用語： *ナノワイヤ ,  *酸化亜鉛 ,  センサ ,  加熱器 ,  熱酸化 ,  スパッタ蒸着 ,  電極 ,  櫛形 ,  ダイヤフラム ,  感度 ,  性能 ,  能力 ,  検出限界 ,  消費電力 ,  *ガスセンサ ,  MEMS ,  脂肪族ケトン
準シソーラス用語： MEMSセンサ ,  *ZnOナノワイヤ ,  マイクロヒータ ,  櫛形電極 ,  検出感度

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： アセトン

タイトルに関連する用語 (6件)： Zn ,  薄膜 ,  酸化 ,  ZnOナノワイヤ ,  MEMS ,  アセトン