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J-GLOBAL ID:201502237233057249   整理番号:15A0459326

光通信 電子線ホログラフィとローレンツ顕微鏡を用いた半導体レーザの解析

著者 (4件):
資料名:
号: 134  ページ: 33-39 (WEB ONLY)  発行年: 2015年01月 
JST資料番号: U0003A  ISSN: 1348-1789  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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透過型電子顕微鏡の手法の一つである電子線ホログラフィとローレンツ顕微鏡を用いて,GaAs(ガリウムヒ素)のモデル試料の観察と半導体レーザの解析を行った。電子線ホログラフィ観察では,pn接合のみならず,異なるドーパント濃度領域である1×1019と1×1018cm-3の界面と1×1018と1×1017cm-3の界面を観察することができた。また,半導体レーザの解析事例について紹介し,これらの手法が実用的に用いられていることを示した。(著者抄録)
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分類 (2件):
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顕微鏡法  ,  半導体レーザ 
タイトルに関連する用語 (5件):
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