文献

J-GLOBAL ID：201502237759458590   整理番号：15A0590191

高周波プラズマ蒸着による太陽電池窓層用のホウ素添加高伝導性p型ナノ結晶性酸化ケイ素薄膜

Radio frequency plasma deposited boron doped high conductivity p-type nano crystalline silicon oxide thin film for solar cell window layer

著者 (9件)： SHIN Chonghoon (Dep. of Energy Sci., Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  IFTIQUAR S.M. (Coll. of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  PARK Jinjoo (Coll. of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  AHN Shihyun (Coll. of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  KIM Sangho (Dep. of Energy Sci., Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  JUNG Junhee (Dep. of Energy Sci., Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  BONG Sungjae (Coll. of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  YI Junsin (Dep. of Energy Sci., Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  YI Junsin (Coll. of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR)
資料名： Materials Chemistry and Physics  (Materials Chemistry and Physics)
巻： 159  ページ： 64-70  発行年： 2015年06月01日 
JST資料番号： E0934A  ISSN： 0254-0584  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ワイドバンドギャップp型ナノ結晶性酸化ケイ素(p-nc-SiO:H)窓層は,多接合太陽電池に利用可能である。水素希釈度を高くし,プラズマ電力を低くすることによって,光学ギャップが大きく導電性の高い材料を製造した。CO₂流量を0.3から2.5sccmへ変化させることによって結晶体積率(X_c)が43.7%から4.5%の範囲の薄膜を得,プラズマ電力密度を426から28mW/cm²に減少させることによってX_cが14.0%から45.8%に増加することが観察された。高いプラズマ電力では水素希釈によって薄膜の特性に有意な変化は得られなかった。電気伝導度及び活性化エネルギーは低いプラズマ電力密度の場合に望ましい値であることが観察され,プラズマ電力密度28mW/cm²にてそれぞれ3.4×10^-2S cm^-1および0.102eVであった。低いプラズマ電力では多数のSiH₃ラジカルが成膜に関与し,それによって薄膜特性が向上すると考えられる。選択したp-nc-SiO:Hを用いて作製した太陽電池では,量子効率の短波長応答が改善し,このようなp型材料を用いることの利点が示された。p-nc-SiO:H薄膜の光学ギャップは1.784から2.130eVの範囲であった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *太陽電池 ,  光学窓 ,  *プラズマCVD ,  *酸化ケイ素 ,  ナノ結晶 ,  P型半導体 ,  ドーピング ,  化合物半導体 ,  光学ギャップ ,  導電性 ,  結晶度 ,  電気伝導率 ,  活性化エネルギー ,  エネルギー密度 ,  ラジカル ,  量子効率 ,  二酸化炭素 ,  シラン ,  半導体薄膜 ,  雰囲気
準シソーラス用語： *ナノ結晶薄膜 ,  *プラズマ蒸着 ,  ホウ素ドーピング ,  ワイドバンドギャップ半導体 ,  結晶化度 ,  *高周波プラズマ ,  水素化ケイ素 ,  水素雰囲気 ,  *多接合太陽電池 ,  電気伝導度 ,  電力密度

分類 (4件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  非金属化合物  (CD01070R) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (8件)： 高周波プラズマ ,  蒸着 ,  太陽電池 ,  窓 ,  ホウ素 ,  ナノ結晶 ,  酸化 ,  ケイ素薄膜