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J-GLOBAL ID：201502238758052830   整理番号：15A0487403

誘電率の検出による圧電位置決めステージの自己検出制御

Self-sensing control of piezoelectric positioning stage by detecting permittivity

著者 (2件)： SAIGUSA Katsuhiro (Graduate School of Frontier Sci., The Univ. of Tokyo, Kashiwa, Chiba 277-8563, JPN) ,  MORITA Takeshi (Graduate School of Frontier Sci., The Univ. of Tokyo, Kashiwa, Chiba 277-8563, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 226  ページ： 76-80  発行年： 2015年05月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電変位はヒステリシス性とクリープ性を含んでいる。このため,精密な位置決め装置には変位センサが不可欠である。しかし,追加される空間とコストが問題である。一方,変位センサとして圧電アクチュエータそのものを使用した自己検出法が提案されている。これらの自己検出法により,追加する変位センサ無しに精密な位置決めが可能になった。筆者等は誘電率変化と圧電変位間の非ヒステリシス関係を使った自己検出法を開発した。さらに,バイモルフアクチュエータによる2個の圧電素子を使った微分電流測定法により位置決め正確性を向上できた。本研究で筆者等は,自己検出制御に微分電流測定法を適用して,2個の多層圧電アクチュエータを使った位置決めステージの制御について検討した。その結果,この微分電流測定法は精密な位置決め制御に有効であることが分かった。ヒステリシスによる位置決め誤差は10μmの変位範囲で0.8μmから0.1μmに減少した。さらに,誘電率フィードバック制御によりクリープ性を補償できた。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *圧電素子 ,  *位置決め装置 ,  *誘電率 ,  ヒステリシス ,  クリープ ,  センサ ,  変位測定 ,  アクチュエータ ,  フィードバック制御
準シソーラス用語： バイモルフ ,  変位センサ

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 誘電率 ,  圧電 ,  ステージ ,  自己