文献

J-GLOBAL ID：201502239119045438   整理番号：15A0092453

フォトリソグラフィーデファイン構造を使用したインクジェット印刷6,13-ビス(トリイソプロピルシリルエチニル)ペンタセンの最適化

Optimization of Inkjet-Printed 6,13-Bis(triisopropylsilylethynyl)pentacene Using Photolithography-Defined Structures

著者 (6件)： KABIR D. L. (The Univ. of Texas at Dallas, Dep. of Materials Sci. and Engineering, 800 W. Campbell Road, 75080, Richardson, TX, USA) ,  MEJIA I. (The Univ. of Texas at Dallas, Dep. of Materials Sci. and Engineering, 800 W. Campbell Road, 75080, Richardson, TX, USA) ,  PEREZ M. R. (The Univ. of Texas at Dallas, Dep. of Materials Sci. and Engineering, 800 W. Campbell Road, 75080, Richardson, TX, USA) ,  RAMOS-HERNANDEZ J. C. (The Univ. of Texas at Dallas, Dep. of Materials Sci. and Engineering, 800 W. Campbell Road, 75080, Richardson, TX, USA) ,  RAMOS-HERNANDEZ J. C. (Autonomous Univ. of Ciudad Juarez, Engineering and Technol. Inst., 32310, Ciudad Juarez, Chihuahua, MEX) ,  QUEVEDO-LOPEZ M. A. (The Univ. of Texas at Dallas, Dep. of Materials Sci. and Engineering, 800 W. Campbell Road, 75080, Richardson, TX, USA)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 44  号： 1  ページ： 490-496  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,フォトリソグラフィーデファイン試験構造を使って各種印刷条件で,インクジェット印刷した6,13-ビス(トリイソプロピルシリルエチニル)ペンタセン(TIPS-ペンタセン)に基づく有機薄膜トランジスタ(OTFTs)の性能を調べた。OTFTsは,各種の濃度のTIPS-ペンタセン溶液で印刷し,印刷温度および印刷した材料の量の影響を調べた。フォトリソグラフィープロセスと印刷TIPS溶液によりよく形状が決められるハイブリッド法について報告した。検討の結果,この印刷OTFTsは溶液濃度の増加と共に移動度が増加し,濃度50mg/mLと基板温度50°Cで最大移動度が得られることが分かった。X線回折の結果,全てのTIPS濃度に対して,薄膜相が在し,TIPS厚みの増加による分子充填に何の攪乱もなく(001)方向に沿って強く鋭い優先方位があることが分かった。この方法で製作し最適化したOTFTsは,移動度5×10^-2cm²/Vs,閾値電圧(V_T)-5V範囲,サブ閾値スロープ約0.5V/decを示した。オンオフ電流比も10⁶まで達成した。Copyright 2014 The Minerals, Metals & Materials Society Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *フォトリソグラフィー ,  *インクジェット印刷 ,  *薄膜トランジスタ ,  キャリア移動度 ,  優先配向 ,  電圧 ,  比率 ,  スイッチング ,  濃度依存性
準シソーラス用語： オンオフ比 ,  優先方位 ,  *有機薄膜トランジスタ ,  閾値電圧

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (4件)： インクジェット印刷 ,  ビス ,  ペンタセン ,  最適化