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J-GLOBAL ID：201502240211697628   整理番号：15A0223065

連続運動のためのハイブリッドボルトクランプLangevin型超音波リニアモータを用いた超精密XYステージ

Ultraprecision XY stage using a hybrid bolt-clamped Langevin-type ultrasonic linear motor for continuous motion

著者 (2件)： LEE Dong-jin (School of Mechatronics, Gwangju Inst. of Sci. and Technol., 123 Cheomdangwagi-ro, Buk-gu, Gwangju 500-712, KOR) ,  LEE Sun-kyu (School of Mechatronics, Gwangju Inst. of Sci. and Technol., 123 Cheomdangwagi-ro, Buk-gu, Gwangju 500-712, KOR)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 86  号： 1  ページ： 015111-015111-9  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,超音波リニアモータにより駆動されるXYステージに対する設計と制御システムについて報告する。本研究において,ハイブリッドボルトクランプLangevin型超音波リニアモータを製作し,ついで,三次縦モードと六次横モードの共鳴周波数で運転した。これらの2つのモードは,予荷重調節を通じて整合され,異なる移動おもりを考慮したインピーダンスマッチング法を用いた周波数整合法により正確にチューニングされる。位置と円運動に関してXYステージを評価した。精密で安定な運動を達成するために,コントローラは,連続運動に対する規範特性軌道追従(NCTF)制御,不感帯補償,および,マクロとミクロダイナミクス領域に対する異なるNCTFを用いたスイッチングコントローラからなる。実験結果から,開発したステージは,ナノメートルレベルの精度で位置決めと連続運動を可能にすることがわかった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 振動子 ,  *リニアモータ ,  *位置決め装置 ,  精密測定 ,  インピーダンス整合 ,  制御系
準シソーラス用語： Langevin型振動子 ,  超音波リニアモータ ,  *X-Yステージ ,  超精密計測 ,  インピーダンスマッチング ,  規範特性軌道追従

分類 (1件)： その他の物理実験技術  (BA02080Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 運動 ,  超音波リニアモータ ,  超精密 ,  XYステージ