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J-GLOBAL ID：201502241157189987   整理番号：15A0580197

SEMでの軟X線発光分光による化学状態分析

Chemical State Analysis with Soft-X-ray Emission Spectroscopy Based on SEM

著者 (3件)： 寺内正己 (東北大学多元物質科学研究所) ,  今園孝志 (原子力機構 量子ビーム応用研究センター) ,  小池雅人 (原子力機構 量子ビーム応用研究センター)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 36  号： 4  ページ： 184-188 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 格子スペクトロメータを用い,走査型電子顕微鏡(SEM)に電子ビーム誘起軟X線発光分析(SXES)を導入し,バルク材の化学状態分析に適用した。透過電子顕微鏡用の収差補正格子を利用したすれすれ入射フラットフィールド光学系を用いることで,Mg-L発光(50eV)では最大分解能0.13eVを達成できることが分かった。SEM-SXES装置を用いたバルク材からのMg-L,Si-L,B-K及びTi-L発光スペクトルでは見かけのバンド構造効果を観測することができた。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *軟X線 ,  X線分光法 ,  *状態分析 ,  すれすれ入射 ,  収差補正 ,  回折格子 ,  高分解能 ,  発光スペクトル ,  バンド構造 ,  マグネシウム ,  ケイ素 ,  チタン ,  ホウ素 ,  電子ビーム

分類 (1件)： その他の物理分析  (CC03014E)

引用文献 (14件)：

• 1) M. Terauchi et al.: Journal of Electron Microscopy 50, 101 (2001).
• 2) M. Terauchi et al.: Journal of Electron Microscopy 59, 251 (2010).
• 3) 寺内正己: 顕微鏡 46, 105 (2011).
• 4) M. Terauchi et al.: Journal of Electron Microscopy 61, 1 (2012).
• 5) M. Terauchi et al.: Microscopy 62, 391 (2013).

タイトルに関連する用語 (4件)： SEM ,  軟X線発光分光 ,  化学 ,  状態分析