文献

J-GLOBAL ID：201502241513972861   整理番号：15A0555627

RFマグネトロンスパッタリングで蒸着されたAlドープ酸化亜鉛とSnドープ酸化インジウムの微細構造展開 比較

Microstructure evolution of Al-doped zinc oxide and Sn-doped indium oxide deposited by radio-frequency magnetron sputtering: A comparison

著者 (3件)： NIE Man (Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Inst. for Solar Fuels, Hahn-Meitner-Platz 1, D-14109 ...) ,  BIKOWSKI Andre (Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Inst. for Solar Fuels, Hahn-Meitner-Platz 1, D-14109 ...) ,  ELLMER Klaus (Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Inst. for Solar Fuels, Hahn-Meitner-Platz 1, D-14109 ...)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 117  号： 15  ページ： 155301-155301-9  発行年： 2015年04月21日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *蒸着膜 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *酸化亜鉛 ,  *酸化インジウム ,  *ドーピング ,  *アルミニウム ,  *スズ ,  *微細構造 ,  *モルフォロジー ,  基板 ,  ホウケイ酸ガラス ,  温度依存性 ,  X線回折 ,  顕微鏡観察 ,  原子間力顕微鏡 ,  パワースペクトル密度 ,  粗度
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング ,  原子間力顕微鏡観察 ,  蒸着温度

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (9件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  Al ,  ドープ ,  酸化亜鉛 ,  Sn ,  酸化インジウム ,  微細構造 ,  展開