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J-GLOBAL ID：201502241757785346   整理番号：15A0168603

マイクロ歯車精度計測のための微小径ロータリエンコーダの開発(直径500μmのグレーティングディスクの連続的信号検出)

著者 (5件)： CHA Hyomin (九大) ,  黒河周平 (九大 工) ,  梅崎洋二 (九大 工) ,  松川洋二 (九大 工) ,  法元盛久 (大日本印刷)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2013  ページ： ROMBUNNO.S112042  発行年： 2013年09月07日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロ機械要素の回転伝達誤差を測定するため,筆者らは直径1mm以下の微小径を有する高分解能ロータリエンコーダの開発を目的として研究を行って来た。本研究では,そのために電子ビームリソグラフィ技術及びナノインプリント技術を用いて,格子本数5000本を持つ直径500μmの微小径グレーティングディスクを試作して精度計測を行った。特に,本稿では,試作したグレーティングディスクを自動回転ステージに載せ,ステージコントローラを用いてステージを一定の速度で回転することにより連続的な信号検出の有無について調査を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： *歯車 ,  *マイクロマシニング ,  評価 ,  精度 ,  センサ ,  回転角 ,  信号検出 ,  誤差 ,  動力伝動 ,  電子ビームリソグラフィー ,  押付成形 ,  蓋 ,  *格子構造
準シソーラス用語： グレーチング ,  ナノインプリント ,  マイクロ歯車 ,  ロータリーエンコーダ ,  精度評価 ,  伝達誤差

分類 (2件)： 歯車,歯車装置  (QB01060O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： マイクロ歯車 ,  計測 ,  小径 ,  ロータリエンコーダ ,  開発 ,  直径 ,  信号検出