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J-GLOBAL ID：201502243148862841   整理番号：15A0168227

電極対のマイクロ化によるECF効果に関する研究

著者 (5件)： GU Hongri (東京工大 精密工研) ,  GU Hongri (浙江大) ,  KIM Joon-wan (東京工大 精密工研) ,  横田眞一 (東京工大 精密工研) ,  枝村一弥 (新技術マネイジメント)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2013  ページ： ROMBUNNO.J114012  発行年： 2013年09月07日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMS技術を用いて製作した三角柱-スリット形電極対(TPSE)による電界共役流体(ECF)マイクロポンプを開発し,世界トップの高パワー密度を達成した。しかし,さらなる微小電極の製作が困難であり,この電極対のマイクロ化によるECFジェットの性能評価は行なわれていない。このような背景から,TPSEのさらなるマイクロ化によるECF効果を評価するために,TPSEのユニットサイズは今までと同サイズで主要寸法パラメータのみを微小化する方法を提案した。TPSEの微小化にともない発生圧力は向上することが明らかになった。(著者抄録)

シソーラス用語： *微小電極 ,  *マイクロ化 ,  *電磁流体 ,  ポンプ ,  マイクロマシン ,  MEMS ,  噴流 ,  パラメータ ,  電気めっき ,  フォトリソグラフィー ,  試作 ,  ニッケル ,  フォトレジスト ,  性能試験 ,  マイクロポンプ
準シソーラス用語： *電界共役流体

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  噴流  (BC02080F)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電極対 ,  マイクロ化 ,  ECF ,  研究