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J-GLOBAL ID：201502247881617115   整理番号：15A0168228

MEMS技術を用いた針-円筒スリット形ECFマイクロ液圧源

著者 (4件)： KIM Joon-wan (東京工大 精密工研) ,  近藤一由 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  横田眞一 (東京工大 精密工研) ,  枝村一弥 (新技術マネイジメント)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2013  ページ： ROMBUNNO.J114013  発行年： 2013年09月07日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 点字表示器に応用するためのECFマイクロ液圧源としての針-円筒スリット形電極対を提案し,MEMS技術により製作に成功した。圧力,流量特性実験を行い,針の本数に対し流量が比例的に増大していることが確認できた。また,機械加工による針-円筒スリット形電極対のパワー密度と比較し,本研究の電極対が2.3倍のパワー密度を有していることを確認した。今後の課題は,MEMS技術による針-円筒スリット形電極対を用いた点字表示器を設計し製作することである。(著者抄録)

シソーラス用語： MEMS ,  *電磁流体 ,  噴流 ,  流量特性 ,  エネルギー密度 ,  間隙 ,  表示装置 ,  ポンプ ,  *電極 ,  マイクロポンプ
準シソーラス用語： *ECF【流体】 ,  スリット【構造】 ,  パワー密度 ,  点字情報端末 ,  電極間隔

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の電気・電子部品  (NA05090R)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  針 ,  スリット ,  ECF ,  液圧源