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J-GLOBAL ID：201502249464541958   整理番号：15A0589708

圧電材料における類形相境界を構築するための応力工学

Stress engineering for the design of morphotropic phase boundary in piezoelectric material
著者 (9件)：
OHNO Tomoya

OHNO Tomoya について

(Dep. of Materials Sci., Kitami Inst. of Technol., 165 Kouen-cho, Kitami 090-8507, JPN)

Dep. of Materials Sci., Kitami Inst. of Technol., 165 Kouen-cho, Kitami 090-8507, JPN について

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YANAGIDA Hiroshi

YANAGIDA Hiroshi について

(Dep. of Materials Sci., Kitami Inst. of Technol., 165 Kouen-cho, Kitami 090-8507, JPN)

Dep. of Materials Sci., Kitami Inst. of Technol., 165 Kouen-cho, Kitami 090-8507, JPN について

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MAEKAWA Kentaroh

MAEKAWA Kentaroh について

(Dep. of Materials Sci., Kitami Inst. of Technol., 165 Kouen-cho, Kitami 090-8507, JPN)

Dep. of Materials Sci., Kitami Inst. of Technol., 165 Kouen-cho, Kitami 090-8507, JPN について

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ARAI Takashi

ARAI Takashi について

(Graduate School of Sci. and Technol., Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8561, JPN)

Graduate School of Sci. and Technol., Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8561, JPN について

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SAKAMOTO Naonori

SAKAMOTO Naonori について

(Graduate School of Sci. and Technol., Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8561, JPN)

Graduate School of Sci. and Technol., Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8561, JPN について

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WAKIYA Naoki

WAKIYA Naoki について

(Graduate School of Sci. and Technol., Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8561, JPN)

Graduate School of Sci. and Technol., Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8561, JPN について

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SUZUKI Hisao

SUZUKI Hisao について

(Graduate School of Sci. and Technol., Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8561, JPN)

Graduate School of Sci. and Technol., Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8561, JPN について

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SATOH Shigeo

SATOH Shigeo について

(Graduate School of Sci. and Engineering, Ibaragi Univ., 4-12-1 Nakanarusawa-cho, Hitachi, Ibaragi 316-0033, JPN)

Graduate School of Sci. and Engineering, Ibaragi Univ., 4-12-1 Nakanarusawa-cho, Hitachi, Ibaragi 316-0033, JPN について

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MATSUDA Takeshi

MATSUDA Takeshi について

(Dep. of Materials Sci., Kitami Inst. of Technol., 165 Kouen-cho, Kitami 090-8507, JPN)

Dep. of Materials Sci., Kitami Inst. of Technol., 165 Kouen-cho, Kitami 090-8507, JPN について


資料名：
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

Thin Solid Films について


巻： 585  ページ： 91-94  発行年： 2015年06月30日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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類形相境界(MPB)シフトに対する残留応力の効果を明確にするために,Siウエハー上に残留応力条件の異なるZr/Ti=50/50から60/40の組成を持つアルコキシド誘導ジルコン酸チタン酸鉛薄膜を堆積した。Siウエハー上に緩衝層を構築することによって,残留応力条件を-0.1GPaから-0.9GPaまで制御した。得られた結果から,最大有効圧電定数d33は,58/42の組成を持つ薄膜試料において,-0.9GPaの圧縮残留応力下で得られることが分かった。更に,圧縮残留応力の増大に伴って,MPB組成はZrの豊富な相に直線的にシフトすることが分かった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
シソーラス用語：
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*ジルコニウム酸チタン酸鉛

ジルコニウム酸チタン酸鉛 について

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*誘電体薄膜

誘電体薄膜 について

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*強誘電体

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*圧電材料

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*残留応力

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*相境界

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基板

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ケイ素

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化学組成

化学組成 について

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*バッファ層

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定数

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*圧縮

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圧電定数

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準シソーラス用語：
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類形相境界

類形相境界 について


分類 (3件)：
分類
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酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

,  強誘電体,反強誘電体,強弾性 
(BM05030B)

強誘電体,反強誘電体,強弾性 について

,  圧電気,焦電気,エレクトレット 
(BM05040M)

圧電気,焦電気,エレクトレット について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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類形相境界

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構築

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応力

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工学

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