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J-GLOBAL ID：201502251524669023   整理番号：15A0642730

電子線によって切替えるナノ細孔アレイ上のナノ粒子の捕獲と解放

ELECTRON BEAM SWITCHED TRAPPING AND RELEASE OF NANOPARTICLES ON NANOPORE ARRAY

著者 (2件)： HOSHINO Takayuki (Univ. Tokyo, JPN) ,  MABUCHI Kunihiko (Univ. Tokyo, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 28th Vol.1  ページ： 512-515  発行年： 2015年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学反応は溶液中に分散している化学種の濃度によって影響される。溶質の局在化や濃度をin situ調整することで,生体分子の分析に精細な刺激を加えることができる。本稿では,溶液中のナノ粒子の局在化と濃度の制御を切り替えて行う方法を報告した。倒立型電子線描画装置を設置した真空空間の上にSiN膜を挟んでナノビーズを含む溶液を入れる実験装置を製作した。電子線によってSiN膜にナノ細孔アレイを形成し,極微量な漏水を起こさせて各細孔にナノビーズを捕獲した。さらに,選択した細孔のみに電子線を照射すると,そこに捕獲されていたナノビーズは発生した静電的反発力によって溶液中に拡散し,隣の細孔に移動した。これはナノ撹拌や生体分子分析のナノ操作への応用が可能である。

シソーラス用語： 電子ビームリソグラフィー ,  細孔 ,  *ナノ粒子 ,  化学種 ,  溶液 ,  *溶質 ,  捕獲 ,  物質移動 ,  ナノメータ加工 ,  アレイ ,  薄膜
準シソーラス用語： ナノビーズ ,  ナノ細孔 ,  *ナノ操作 ,  生体分子 ,  電子線描画 ,  溶質トラッピング ,  溶質移動 ,  窒化膜

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  溶液論一般  (CB05010Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子線 ,  ナノ細孔 ,  アレイ ,  ナノ粒子 ,  捕獲 ,  解放