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J-GLOBAL ID：201502254340104197   整理番号：15A0756246

ナノポリシリコンTFTを基本とした加速度センサの特性研究

Characteristic Research of the Acceleration Sensor Based on Nano-Polysilicon TFTs

著者 (6件)： LI Lei (Heilongjiang Univ., Harbin, CHN) ,  ZHAO Xiaofeng (Heilongjiang Univ., Harbin, CHN) ,  LI Gang (Heilongjiang Univ., Harbin, CHN) ,  HAN Bing (Heilongjiang Univ., Harbin, CHN) ,  WEN Dianzhong (Heilongjiang Univ., Harbin, CHN) ,  MU Ailin (Heilongjiang Univ., Harbin, CHN)
資料名： Sensor Letters  (Sensor Letters)
巻： 13  号： 4  ページ： 288-293  発行年： 2015年04月 
JST資料番号： W2392A  ISSN： 1546-198X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  *ポリシリコン ,  *薄膜トランジスタ ,  *速度センサ ,  *特性 ,  半導体プロセス ,  周波数応答 ,  誘導結合プラズマ ,  プラズマエッチング
準シソーラス用語： CMOSプロセス ,  *加速度センサ

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (4件)： ポリシリコン ,  TFT ,  加速度センサ ,  研究