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文献
J-GLOBAL ID:201502254453408575   整理番号:15A0468305

Si,Ti添加DLC膜表面酸化反応における原子状酸素衝突エネルギーの影響

著者 (8件):
資料名:
号: 14-012  ページ: 95-99  発行年: 2015年03月20日
JST資料番号: S0762C  ISSN: 1349-113X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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水素化DLCは真空中で極低摩擦を実現できるため宇宙用潤滑剤として注目されている。一方DLCは原子状酸素(AO)に対し耐性が低いためSiやTiを添加したDLCはAOとの衝突反応により保護膜を形成することで高い健全性を示すことが期待されているが,DLC中のSi,TiとAOとの高エネルギー衝突プロセスによる酸化膜形成に対するAO衝突エネルギーの影響を調べた。結果として,AOエネルギーが低い場合にはサブオキシサイドが形成され衝突エネルギーに対してほぼSiO2,TiO2に変化する。実宇宙環境を想定した場合,AOは約5eVの相対衝突エネルギーを持つため,垂直入射ではSiO2,TiO2が形成されエロージョンを防止する効果が期待される。
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シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
潤滑一般 

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