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J-GLOBAL ID：201502254453408575   整理番号：15A0468305

Si,Ti添加DLC膜表面酸化反応における原子状酸素衝突エネルギーの影響

著者 (8件)： 渡邉大樹 (神戸大 大学院工学研究科) ,  初田光嶺 (神戸大 大学院工学研究科) ,  古山雄一 (神戸大 大学院海事科学研究科) ,  神田一浩 (兵庫県大 高度産科技研) ,  吉越章隆 (日本原子力研究開発機構) ,  寺岡有殿 (日本原子力研究開発機構) ,  横田久美子 (神戸大 大学院工学研究科) ,  田川雅人 (神戸大 大学院工学研究科)
資料名： 宇宙航空研究開発機構特別資料 JAXA-SP-  (JAXA Special Publication)
号： 14-012  ページ： 95-99  発行年： 2015年03月20日 
JST資料番号： S0762C  ISSN： 1349-113X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水素化DLCは真空中で極低摩擦を実現できるため宇宙用潤滑剤として注目されている。一方DLCは原子状酸素(AO)に対し耐性が低いためSiやTiを添加したDLCはAOとの衝突反応により保護膜を形成することで高い健全性を示すことが期待されているが,DLC中のSi,TiとAOとの高エネルギー衝突プロセスによる酸化膜形成に対するAO衝突エネルギーの影響を調べた。結果として,AOエネルギーが低い場合にはサブオキシサイドが形成され衝突エネルギーに対してほぼSiO₂,TiO₂に変化する。実宇宙環境を想定した場合,AOは約5eVの相対衝突エネルギーを持つため,垂直入射ではSiO₂,TiO₂が形成されエロージョンを防止する効果が期待される。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  酸素 ,  酸化 ,  衝突エネルギー ,  酸化チタン ,  二酸化ケイ素 ,  潤滑剤 ,  宇宙環境
準シソーラス用語： 二酸化チタン ,  *原子状酸素 ,  *表面酸化

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

引用文献 (7件)：

• A. Vanhulsel, E Velasco, R. Jacobs, L. Eersels, D. Havermans, E.W. Roberts, I. Sherrington, M.J. Anderson, L. Gaillard: Tribology International Vol.40 (2007) 1186-1194.
• M. Tagawa, K. Yokota, K. Matsumoto, M. Suzuki, Y. Teraoka, A. Kitamura, M. Belin, J. Fontaine, J-M. Martin: Surface & Coatings Technology Vol.202 (2007) 1003-1010.
• K. Yokota, M. Tagawa, A. Kitamura, K. Matsumoto, A. Yoshigoe, Y. Teraoka, T. Fontaine, M. Belin: Trans. JSASS Space Tech. Japan Vol.7, No. ists26 (2009), pp. Pc_37-Pc_42.
• K.Yokota,S.Yasuda,A.Mizutani,M.Tagawa: Japanese Journal of Applied Physics Vol.52(2013)038002.
• 藤本晋嗣:神戸大学卒業論文(2011).

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  Ti ,  DLC膜 ,  表面酸化 ,  原子状酸素 ,  衝突エネルギー