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J-GLOBAL ID：201502254524233798   整理番号：15A0289848

窒化ニオブ薄膜を用いたマイクロ波カイネティックインダクタンス検出器

A microwave kinetic inductance detector using NbN thin film.

著者 (1件)： 齊藤敦 (山形大 大学院理工学研究科)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 84  号： 2  ページ： 146-149  発行年： 2015年02月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フーリエ変換分光用4K動作2次元アレイ検出器の開発を目指し,窒化ニオブ(NbN)薄膜を用いたマイクロ波カイネティックインダクタンス検出器(MKIDs)の設計と作製,評価を行った。高Q値マイクロ波共振器と広帯域THzアンテナとしての2つの機能を併せもつDual-Function Spiral Strip(DFSS)を提案し,25(5×5)素子DFSS-MKDsアレイの設計を行った。NbN薄膜を用いた同アレイの作製と評価を行い,25素子に対応する共振特性と光応答を確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： Fourier分光法 ,  *検出器 ,  インダクタンス ,  マイクロ波 ,  ニオブ化合物 ,  窒化物 ,  共振器 ,  アンテナ ,  光検出器アレイ ,  周波数特性 ,  *超伝導薄膜 ,  *窒化ニオブ ,  *テラヘルツ波検出器 ,  マイクロ波検出器
準シソーラス用語： Fourier変換分光法 ,  マイクロ波カイネティックインダクタンス検出器 ,  マイクロ波共振器 ,  THz波アンテナ

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

引用文献 (10件)：

• P. K. Day et al.: Nature, 425, 817 (2003).
• A. Baryshev et al.: IEEE Trans. Terahertz Science and Tech. 1, 112 (2011).
• O. Noroozian et al.: IEEE Trans. MTT 60, 1235 (2012).
• K. Hayashi, A. Saito et al.: Physics Procedia 45, 213 (2013).
• K. Hayashi, A. Saito et al.: J. Phys.: Conference Series 507, 042015 (2014).

タイトルに関連する用語 (4件)： 窒化ニオブ ,  薄膜 ,  マイクロ波 ,  検出器