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J-GLOBAL ID：201502255686790824   整理番号：15A0642634

容量型変換がいつ熱力学的限界に適合するか:非常に高周波でのフェムトニュートン力センサに向けて

WHEN CAPACITIVE TRANSDUCTION MEETS THE THERMOMECHANICAL LIMIT: TOWARDS FEMTO-NEWTON FORCE SENSORS AT VERY HIGH FREQUENCY

著者 (14件)： HOUMADI S. (CBMN, CNRS, Pessac, FRA) ,  HOUMADI S. (CRPP, CNRS, Pessac, FRA) ,  LEGRAND B. (LAAS, CNRS, Toulouse, FRA) ,  LEGRAND B. (Univ de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  SALVETAT J. P. (CRPP, CNRS, Pessac, FRA) ,  WALTER B. (IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  MAIRIAUX E. (IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  AIME J. P. (CBMN, CNRS, Pessac, FRA) ,  DUCATTEAU D. (IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  MERZEAU P. (CRPP, CNRS, Pessac, FRA) ,  BUISSON L. (CRPP, CNRS, Pessac, FRA) ,  ELEZGARAY J. (CBMN, CNRS, Pessac, FRA) ,  THERON D. (IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  FAUCHER M. (IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 28th Vol.1  ページ： 150-153  発行年： 2015年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 容量型センシングは,容易にMEMSデバイスに集積できるが,高周波での低い効率および寄生クロストークの問題がある。マイクロ波を用いた検出における最近の進展は,容量型変換が,優れた変位分解能を達成し光学的方法と競合できることを示した。本論文では,マイクロ波検出方式に基づくMEMSデバイスの容量型変換を,高剛性共振器の熱機械的振動の測定を行った。高周波(>10MHz)高剛性(>10⁵N/m)共振器の熱機械的雑音スペクトルの測定を行い,1fm/√Hzの優れた変位分解能を達成した。フェムトメートル(fm)スケールでのMEMS共振器運動の検出を容量型変換により行い,高剛性をもつマイクロ共振器の熱機械的スペクトルの観察および変位の較正が可能であった。この結果に基づき,フェムトニュートン力分解能をもつ原子間力顕微鏡を計画できる。

シソーラス用語： 容量 ,  変換 ,  熱力学的極限 ,  単位 ,  *センサ ,  *MEMS ,  マイクロ波 ,  分解能 ,  剛性 ,  物理的性質 ,  *共振器 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： MEMSデバイス ,  MEMS共振器 ,  ニュートン ,  熱機械的特性 ,  *力センサ

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 熱力学的限界 ,  高周波 ,  力センサ