文献

J-GLOBAL ID：201502265629329431   整理番号：15A0620361

電子ビーム処理によるゾル-ゲル由来InドープZnO薄膜の電気的性質改善

Improvement in electrical properties of sol-gel-derived In-doped ZnO thin film by electron beam treatment

著者 (6件)： KIM Solbaro (Yonsei Univ. 50 Yonsei-ro, Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, Seodaemun-gu, 120-749, Seoul, KOR) ,  KIM Changheon (Yonsei Univ. 50 Yonsei-ro, Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, Seodaemun-gu, 120-749, Seoul, KOR) ,  NA Jihoon (Yonsei Univ. 50 Yonsei-ro, Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, Seodaemun-gu, 120-749, Seoul, KOR) ,  OH Eunseok (Yonsei Univ. 50 Yonsei-ro, Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, Seodaemun-gu, 120-749, Seoul, KOR) ,  JEONG Chaehwan (Korea Inst. of Industrial Technol., Applied Optics and Energy Res. Group, 1110-9 Oryong-dong, Buk-gu, 500-480 ...) ,  LIM Sangwoo (Yonsei Univ. 50 Yonsei-ro, Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, Seodaemun-gu, 120-749, Seoul, KOR)
資料名： Journal of Sol-Gel Science and Technology  (Journal of Sol-Gel Science and Technology)
巻： 74  号： 3  ページ： 790-799  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： W0812A  ISSN： 0928-0707  CODEN： JSGTEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゾル-ゲルスピンコーティング法によりInドープZnO薄膜を調製した。高いInドープ水準での結晶性と電気抵抗劣化のようないくつかのInドープの問題点が報告されているため,本研究ではGaとの共ドープと電子ビーム処理を示した。Inドーパントを0.5モル%ZnO薄膜に加えると,キャリア濃度が増加し,膜の抵抗率を低下させる。逆に,In存在下でGaをさらにドープすると電気的性質は殆ど変化しない。Zno膜に電子ビーム処理を行うと,光学バンドギャップが増加し,キャリア濃度と移動度が増加した。特に,2keVで電子ビーム処理した0.5モル%InドープZnOは,4.8×10^-2Ωcmと低い電気抵抗率を示し,一方,もとのZnO薄膜からは57.1Ωcmが得られた。ZnO膜を結晶状Si太陽電池に適用すると,変換効率はもとのZnO薄膜を有する電池の10.37%から,Inドープおよ電子ビーム処理ZnO薄膜の11.45%に大きく増加した。Copyright 2015 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *インジウム ,  ドーピング ,  *薄膜 ,  *ゾル-ゲル法 ,  *電子照射 ,  *電気的性質 ,  基板 ,  ソーダ石灰ガラス ,  スピンコーティング ,  ガリウム ,  添加物効果 ,  ドーパント ,  キャリア密度 ,  電気抵抗率 ,  光学ギャップ ,  移動度 ,  効率 ,  太陽電池 ,  インジウム化合物 ,  硝酸塩 ,  ガリウム化合物 ,  エーテル ,  脂肪族アルコール ,  脂肪族アミン ,  アミノアルコール ,  第一アミン
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  *ゾル-ゲル膜 ,  共ドーピング ,  結晶シリコン太陽電池 ,  硝酸インジウム ,  硝酸ガリウム ,  変換効率

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  太陽電池  (NC03084O)

物質索引 (3件)： 2-メトキシエタノール ,  エタノールアミン ,  酢酸亜鉛

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子ビーム ,  ゾル-ゲル ,  ドープ ,  ZnO薄膜 ,  電気的性質