文献

J-GLOBAL ID：201502267151288737   整理番号：15A0491579

ガスフロー蒸着法による高純度有機薄膜の大面積成膜技術

Large-Area Deposition Technology of High Purity Organic Thin Film by Gas Flow Deposition

著者 (7件)： 江面知彦 (東京エレクトロン株式会社 TEL テクノロジーセンター仙台) ,  江面知彦 (九州大学最先端有機光エレクトロニクス研究センター) ,  継田浩平 (東京エレクトロン株式会社 TEL テクノロジーセンター仙台) ,  継田浩平 (九州大学最先端有機光エレクトロニクス研究センター) ,  安達千波矢 (九州大学最先端有機光エレクトロニクス研究センター) ,  安達千波矢 (九州大学大学院工学研究院応用化学部門) ,  安達千波矢 (九州大学カーボンニュートラル・エネルギー国際研究所)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 58  号： 3  ページ： 79-85 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 有機EL素子は軽い面発光光源である特徴を持ち,製造法において,コストを下げるための量産技術の確立が重要である。また,高価な材料の使用効率の向上とともに,歩留まりの向上が必要である。この要請に添って,著者らは従来から用いられてきたドライ系成膜プロセスの課題を解決する目的で,真空蒸着法(VTE)を進化させた,キャリアガスを利用した材料蒸気輸送システムであるガスフロー蒸着法(GFD)を提案してきた。本報では,GFDの大型パネル製造装置用途への応用を考慮し,その成膜プロセスの有用性について紹介した。

シソーラス用語： 気体流 ,  高純度物質 ,  *有機材料 ,  *面積 ,  *構成 ,  発光ダイオード ,  *真空蒸着 ,  キャリアガス
準シソーラス用語： ガスフロー ,  *有機薄膜 ,  *大面積 ,  *成膜 ,  有機EL素子

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

引用文献 (22件)：

• 1) C. W. Tang, S. A. VanSlyke and C. H. Chen: J. Appl. Phys., 65 (1989) 3610.
• 2) C. Adachi, S. Tokito, T. Tetsuo and S. Saito: Jpn. J. Appl. Phys., 27 (1998) L713.
• 3) T. Shimizu, A. Nakamura, H. Komaki, T. Minato, H. Spreitzer and J. Kroeber: SID 03 Digest, (2003) 1290.
• 4) S. Seki, M. Uchida, T. Sonoyama, M. Ito, S. Watanabe, S. Sakai and S. Miyashita: SID 09 Digest, (2009) 593.
• 5) R. J. Chesterfield, K. D. Frischknecht, M. Stainer, N. Truong, M. Murai, H. Oze, A. Shiota and S. Suzuki: SID 09 Digest, (2009) 951.

タイトルに関連する用語 (6件)： ガスフロー ,  蒸着 ,  高純度 ,  有機薄膜 ,  大面積 ,  成膜