文献

J-GLOBAL ID：201502269100387202   整理番号：15A0168276

ステンレス基板上圧電薄膜を用いたMEMSエナジーハーベスター

著者 (5件)： 辻浦裕一 (神戸大 大学院工学研究科) ,  諏訪英作 (神戸大 大学院工学研究科) ,  黒川文弥 (神戸大 大学院工学研究科) ,  肥田博隆 (神戸大 大学院工学研究科) ,  神野伊策 (神戸大 大学院工学研究科)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2013  ページ： ROMBUNNO.J161013  発行年： 2013年09月07日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 今回,本研究グループでは微細加工により作製したステンレス(SUS430)カンチレバー上に,Pb(Zr,Ti)O₃(PZT)薄膜をRFマグネトロンスパッタリング法を用いて直接成膜することで圧電MEMSエナジーハーベスターを実現した。XRD測定から,PZT薄膜は圧電性を示すペロブスカイト構造を有しており,圧電特性評価の結果,圧電定数e_31,fは-4.0C/m²であった。梁長さ5.5mm,幅5.0mm,錘長さ2.0mmのユニモルフカンチレバーについて振動発電評価を行った結果,PZT薄膜エナジーハーベスターは367Hz,10m/s²で加振した際に,最大出力電力6.8μW(電力密度:1.7μW/mm³)を得た。(著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  エネルギー変換 ,  ステンレス鋼 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  発電 ,  振動エネルギー ,  エネルギー密度 ,  *薄膜
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング ,  *エネルギーハーベスタ ,  *圧電薄膜 ,  振動エネルギーハーベスティング ,  電力密度

分類 (4件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  エネルギー変換装置  (LC01020U) ,  気相めっき  (WC08022K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： ステンレス ,  圧電薄膜 ,  MEMS ,  エナジー ,  ハーベスター