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J-GLOBAL ID：201502269882670609   整理番号：15A0722145

HPRとNF弁を用いた電空ハイブリッド超精密鉛直位置決めステージの制御

著者 (3件)： 加藤友規 (福岡工大 工) ,  平川鉄磨 (福岡工大 大学院工学研究科) ,  平川鉄磨 (SMC)
資料名： フルードパワーシステム講演会講演論文集  (フルイドパワーシステム講演会講演論文集)
巻： 2015  号： 春季  ページ： 4-6  発行年： 2015年05月28日 
JST資料番号： Y0051A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *制御装置 ,  垂直方向 ,  *位置決め装置 ,  サーボ弁 ,  ハイブリッド系 ,  圧力制御 ,  フィードフォワード制御 ,  フィードバック制御 ,  ヒステリシス ,  超精密加工 ,  *工作機械要素
準シソーラス用語： PI制御 ,  ノズルフラッパ ,  鉛直方向 ,  *電空制御器

分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

タイトルに関連する用語 (3件)： 超精密 ,  鉛直 ,  ステージ