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J-GLOBAL ID：201502271109620435   整理番号：15A0375420

過酸化水素表面処理によるGaNベースのSchottkyダイオードの水素感度性能の向上

Enhancement of hydrogen sensing performance of a GaN-based Schottky diode with a hydrogen peroxide surface treatment

著者 (7件)： CHEN Chun-Chia (Inst. of Microelectronics, Dep. of Electrical Engineering, National Cheng-Kung Univ., 1 Univ. Road, Tainan 70101 ...) ,  CHEN Huey-Ing (Dep. of Chemical Engineering, National Cheng-Kung Univ., 1 Univ. Road, Tainan 70101, Taiwan, TWN) ,  LIU I-Ping (Dep. of Chemical Engineering, National Cheng-Kung Univ., 1 Univ. Road, Tainan 70101, Taiwan, TWN) ,  LIU Hao-Yeh (Inst. of Microelectronics, Dep. of Electrical Engineering, National Cheng-Kung Univ., 1 Univ. Road, Tainan 70101 ...) ,  CHOU Po-Cheng (Inst. of Microelectronics, Dep. of Electrical Engineering, National Cheng-Kung Univ., 1 Univ. Road, Tainan 70101 ...) ,  LIOU Jian-Kai (Inst. of Microelectronics, Dep. of Electrical Engineering, National Cheng-Kung Univ., 1 Univ. Road, Tainan 70101 ...) ,  LIU Wen-Chau (Inst. of Microelectronics, Dep. of Electrical Engineering, National Cheng-Kung Univ., 1 Univ. Road, Tainan 70101 ...)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 211  ページ： 303-309  発行年： 2015年05月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： GaO_x層をもつGaNベースのsチョッtkyダイオードセンサの水素感度性能の向上を研究し,しめした。Pd/GaNインターフェイスに挿入したGaO_x薄膜を,室温にて過酸化水素溶液に浸責し,酸化した。実験的に,1.8×10⁵の著しく高い水素感受性応答と33.1%の大きなSchottky障壁高変動比が,300Kにおける1%H₂/空気への露出に対して観測された。検出限界は300K条件下で0.1ppmH₂/空気であった。これらの向上した特性は,水素分子の効果的解離とGaO_x層の存在により生じた粗いPd表面に依存する。応答(回復)の時定数は300Kで1%H₂/空気への露出に対して13.3(23.6)sであった。このデバイスの関連する水素吸着分析を研究した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *表面処理 ,  *過酸化水素 ,  水溶液 ,  *酸化ガリウム ,  *ガスセンサ ,  *Schottky障壁ダイオード ,  窒化ガリウム ,  パラジウム ,  金属薄膜 ,  時定数
準シソーラス用語： Schottkyダイオード ,  パラジウム膜 ,  過酸化水素水 ,  *水素センサ

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 過酸化水素 ,  表面処理 ,  GaN ,  Schottkyダイオード ,  水素 ,  感度