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J-GLOBAL ID：201502272190627267   整理番号：15A0440573

厚みのあるシリコンで製造したカンチレバータイプのマイクロヒータ

Cantilever-type microheater fabricated with thick silicon

著者 (5件)： MA Hongyu (China Univ. of Mining and Technol., Res. Center for Internet of Things, National and Local United Engineering Lab ...) ,  WANG Wenjuan (China Univ. of Mining and Technol., Res. Center for Internet of Things, National and Local United Engineering Lab ...) ,  DING Enjie (China Univ. of Mining and Technol., Res. Center for Internet of Things, National and Local United Engineering Lab ...) ,  ZHAO Xiaohu (China Univ. of Mining and Technol., Res. Center for Internet of Things, National and Local United Engineering Lab ...) ,  CHENG Tingting (China Univ. of Mining and Technol., Res. Center for Internet of Things, National and Local United Engineering Lab ...)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 21  号： 4  ページ： 801-807  発行年： 2015年04月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,触媒燃焼型メタンセンサのために,電力消費が少なく高温で動作するカンチレバータイプのシリコンマイクロヒータを報告した。シリコンオンインシュレータ(SOI)ウエハの厚みのあるデバイスシリコンを用いてカンチレバーで支えるシリコンマイクロヒータを設計し,製作した。厚みのあるシリコンのマイクロヒータ抵抗の温度依存性と電気特性を,抵抗の温度係数(TCR)が屈折する点に対応する重要な温度を含めて,調査した。支持カンチレバーの長さが電力消費に与える影響をさらに調査するために,一連の試験用マイクロヒータを設計した。電力評価のための基準点としてマイクロヒータのTCRの屈折点を用いた。電力損失の多くが固体熱伝導によって決まることを,そして,厚いシリコン製ヒータを支持するカンチレバーを長くすることによって総消費電力を約60mWまで,それは満足のできる最低値であったが,低減できることを実験によって確認した。また,この厚いシリコン製ヒータが低消費電力で高温動作のガスセンサにも適していることを示した。それは電池で動作する携帯型メタンガスモニタリングのための利用にとって特に魅力的な品質である。Copyright 2014 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 片持梁 ,  *加熱器 ,  *ケイ素 ,  *ガスセンサ ,  半導体プロセス ,  電気損失 ,  監視 ,  センサ ,  MEMS
準シソーラス用語： MEMSセンサ ,  ガスモニタリング ,  カンチレバー ,  *シリコン ,  シリコンオンインシュレータ ,  *マイクロヒータ ,  電力損失

分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 厚み ,  シリコン ,  カンチレバー ,  タイプ ,  マイクロヒータ