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J-GLOBAL ID：201502272421915597   整理番号：15A0744572

荷電ビーム用多段四極子補正レンズの高精度アライメント技術

High-Precision Alignment Technology for Multistage Quadrupole Correction-lens System

著者 (1件)： 岡山重夫 (独立行政法人産業技術総合研究所ナノエレクトロニクス研究部門)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 81  号： 2  ページ： 193-196 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子やイオンビームを用いる荷電ビーム装置では,球面収差を補正するために,収差補正系が必要になる。これまでに比較的簡単な構造の四極子補正光学系が提案されていたが,多段の四極子の高精度調整が課題であった。本稿では,荷電ビーム装置のプローブ形成用の球面収差補正レンズを実現するために,自己整合型多段四極子補正レンズの部品のサブミクロン加工,高精度アライメントと組み立ての最適化法を提案した。高精度アライメントは,同一形状のレンズケージング内に各々3段の四極子と2つの開口電極を組込み,その間を回転リングで結合する6段補正光学系などにより実現した。6段開口収差補正レンズの詳細構造を示し,レンズ部品の高精度化の必要性を説明するとともに,実際の組立評価結果についても示した。

シソーラス用語： 電荷 ,  *イオンビーム ,  電子ビーム ,  収差補正 ,  精度 ,  *自己整合 ,  四重極 ,  電子顕微鏡
準シソーラス用語： アライメント精度 ,  荷電 ,  *球面収差補正 ,  色収差補正

分類 (3件)： 電子ビーム,イオンビーム  (BD02030F) ,  光の像形成  (BD03050I) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (9件)：

• 1) O. Scherzer : Sphärische und chromatische Korrektur von Elektronen-Linsen, Optik, 2, (1947) 114.
• 2) J. M. H. Deltrap : Correction of spherical aberration of electron lenses, Dissertation, Cambridge University (1964).
• 3) V. Beck and A. V. Crewe : A quadrupole octupole corrector for a 100 keV STEM. 32nd Ann. EMSA Meeting : Claitor's Publishing Division, (1974) 426.
• 4) J. Zach and M. Haider : Aberration correction in a low voltage SEM by a multipole corrector, Nucl. Instr. Meth., A363 (1995) 316.
• 5) O. L. Krivanek, N. Dellby and A. R. Lupini : Towards sub-A electron beams, Ultramicroscopy, 78 (1999) 1.

タイトルに関連する用語 (5件)： 荷電ビーム ,  多段 ,  四極子 ,  補正レンズ ,  アライメント