文献

J-GLOBAL ID：201502275365081563   整理番号：15A0598437

直流マグネトロンスパッタ法で堆積したガリウムドープ酸化亜鉛膜の構造,電気および光学特性に及ぼすインジウム添加および熱処理の影響

Influence of addition of indium and of post-annealing on structural, electrical and optical properties of gallium-doped zinc oxide thin films deposited by direct-current magnetron sputtering

著者 (8件)： PHAM Duy Phong (Lab. of Advanced Materials, Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam) ,  PHAM Duy Phong (Coll. of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  NGUYEN Huu Truong (Lab. of Advanced Materials, Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam) ,  PHAN Bach Thang (Lab. of Advanced Materials, Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam) ,  PHAN Bach Thang (Fac. of Materials Sci., Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam) ,  HOANG Van Dung (Lab. of Advanced Materials, Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam) ,  MAENOSONO Shinya (School of Materials Sci., Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol., 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, JPN) ,  TRAN Cao Vinh (Lab. of Advanced Materials, Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 583  ページ： 201-204  発行年： 2015年05月29日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 直流マグネトロンスパッタを用いてアルゴン雰囲気中で,ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)薄膜およびインジウムとガリウムドープ酸化亜鉛(IGZO)薄膜を商用ガラス上に堆積させた。GZOおよびIGZOを堆積したままおよび堆積後熱処理した薄膜の結晶構造,電気伝導度および光透過率を,比較して調べた。GZO薄膜に導入した少量のインジウムは多結晶構造を改善し,導電率を29%以上増大させた。得られたすべてのGZOおよびIGZO薄膜は,ZnO薄膜特有の強い[002]結晶配向を有した。大気中で最大500°Cまで熱処理を施したが,IGZO膜は6.6Ω/□の非常に低いシート抵抗を維持した。さらに,可視および近赤外領域で80%以上の非常に高い光透過率を有した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  *ドーピング ,  ガリウム ,  基板 ,  ガラス ,  *熱処理 ,  *結晶構造 ,  *電気伝導率 ,  *透過率 ,  結晶方位 ,  シート抵抗 ,  可視光 ,  近赤外線
準シソーラス用語： 直流マグネトロンスパッタリング ,  光透過率

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 直流マグネトロンスパッタ法 ,  堆積 ,  ガリウムドープ酸化亜鉛 ,  光学特性 ,  インジウム ,  熱処理