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J-GLOBAL ID：201502276094048375   整理番号：15A0654397

高調波と低調波パルスモード応答のフィードスルーディエンベディングによるMEMS共振器の特性評価

Characterization of MEMS resonators via feedthrough de-embedding of harmonic and subharmonic pulsed-mode response

著者 (6件)： BRENES A. (THALES Avionics SAS, 25 rue Jules Vedrines, 26000 Valence, FRA) ,  BRENES A. (SSE, Ecole Superieure d’Electricite, 3, rue Joliot-Curie, 91192 Gif-sur-Yvette, FRA) ,  BRENES A. (THALES Chair, Ecole Superieure d’Electricite, 3, rue Joliot-Curie, 91192 Gif-sur-Yvette, FRA) ,  JUILLARD J. (SSE, Ecole Superieure d’Electricite, 3, rue Joliot-Curie, 91192 Gif-sur-Yvette, FRA) ,  VINCI Dos Santos F. (THALES Chair, Ecole Superieure d’Electricite, 3, rue Joliot-Curie, 91192 Gif-sur-Yvette, FRA) ,  BONNOIT A. (SSE, Ecole Superieure d’Electricite, 3, rue Joliot-Curie, 91192 Gif-sur-Yvette, FRA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 229  ページ： 211-217  発行年： 2015年06月15日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,モデルを作り,容量性MEMS共振器の特性評価のためのパルスモード作動の効率の実験的証拠を与えた。特に,寄生フィードスルー影響を除去し,共振器をより正確に特性評価するために,2つのモード(高調波および低調波)においてパルスモード応答をいかに処理するかを示した。このアプローチをTHALE Avionics社が開発し,航空電子機器アプリケーションのために使用される圧力センサについてテストした。既存の最新の手法と対照的に,本論文で説明した方法は,スペクトルアナライザや高性能ADCを使用しないで静電MEMSの特性解析に使用できる。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 高調波 ,  分数調波 ,  電子部品 ,  *共振器 ,  *キャラクタリゼーション ,  航空電子機器 ,  *圧力センサ ,  MEMS ,  駆動
準シソーラス用語： *MEMS共振器 ,  フィードスルー ,  静電駆動 ,  低調波 ,  *特性評価

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高調波 ,  低調波 ,  パルス ,  応答 ,  MEMS共振器 ,  特性評価