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J-GLOBAL ID：201502279937351210   整理番号：15A0445757

各種半電導性含有物を持つ酸素プラズマ処理カーボンナノチューブネットワーク薄膜に基づくガスセンサの比較

Comparison of Gas Sensors Based on Oxygen Plasma-Treated Carbon Nanotube Network Films with Different Semiconducting Contents

著者 (7件)： HAM Seung Woo (Korea Univ., Dep. of Control and Instrumentation Engineering, 339-700, Jochiwon, KOR) ,  HONG Hyun Pyo (Korea Univ., Dep. of Control and Instrumentation Engineering, 339-700, Jochiwon, KOR) ,  KIM Jin Woong (Korea Univ., Dep. of Control and Instrumentation Engineering, 339-700, Jochiwon, KOR) ,  KIM Jong Hyun (Korea Univ., Dep. of Control and Instrumentation Engineering, 339-700, Jochiwon, KOR) ,  KIM Ki Bum (Korea Univ., Dep. of Control and Instrumentation Engineering, 339-700, Jochiwon, KOR) ,  PARK Chan Won (Kangwon National Univ., Dep. of Electrical and Electronic Engineering, 200-701, Chuncheon, KOR) ,  MIN Nam Ki (Korea Univ., Dep. of Control and Instrumentation Engineering, 339-700, Jochiwon, KOR)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 44  号： 5  ページ： 1344-1350  発行年： 2015年05月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 筆者等は,各種半電導性含有物(66%と90%半電導性単層カーボンナノチューブ:SWCNT)を持つSWCNT NH₃ガスセンサの性能に対する酸素プラズマ処理の影響について報告した。SWCNTネットワークに基づく化学センサの性能は,半電導性SWCNTs(s-SWCNTs)の濃度に依存し,その電気伝導率は吸着した分子と表面官能化により大きく変化する可能性がある。酸素プラズマ処理後,66% s-SWCNT試料は感度が0.0275%/ppmから0.1525%/ppm(5.5倍)に増加した。一方,90% s-SWCNTデバイスは0.1184%/ppmから1.5707%/ppm(13倍)の感度増加を示した。これらの結果は,元のものとプラズマ処理した66% s-SWCNT試料と比べて,それぞれ57倍と10倍の改良に相当する。さらに,プラズマ処理したセンサは元のものと比べて,はるかに高速の応答と回復時間を示した。この大きい性能改良を,酸素含有官能基の存在とSWCNTsのsp²-sp³構造変化により説明した。これにより結合エネルギーを変化させ,一方,NH₃のような極性分子の取り込みを増加させた。Copyright 2014 The Minerals, Metals & Materials Society Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  プラズマ ,  酸素 ,  *プラズマ処理 ,  *単層カーボンナノチューブ ,  半導性 ,  電気伝導率 ,  基 ,  結合エネルギー ,  極性分子
準シソーラス用語： 官能基 ,  酸素プラズマ ,  半電導性

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 半電導性 ,  酸素プラズマ ,  カーボンナノチューブ ,  薄膜 ,  ガスセンサ