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J-GLOBAL ID：201502281547004122   整理番号：15A0363395

電気化学的手法により作製したメゾスコピック三次元構造体の表面観察

著者 (3件)： 本橋光也 (東京電機大 工) ,  清水友貴 (東京電機大 工) ,  鈴木俊明 (日本電子)
資料名： 材料の科学と工学  (Materials Science and Technology of Japan)
巻： 52  号： 1  ページ： 2-5  発行年： 2015年02月20日 
JST資料番号： G0788A  ISSN： 1347-4774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Si微細加工による三次元構造体について,高分解能SEMを主に用いて表面観察した。針状構造体,ワイヤ状構造体,ロール状構造体の表面と断面を詳細に観察している。これらの構造体観察に用いた装置はSchottky型電子銃を搭載したFIB/FE-SEM(JIB-4601F;日本電子)とFE-SEM(JIB-710F)およびTEM(JEM-1400)である。立体的なメソスコピック構造体の観察には,使用する顕微鏡の観察原理や特徴,特性を充分に理解する必要がある。

シソーラス用語： *メソスコピック系 ,  立体構造 ,  *顕微鏡観察 ,  電気化学 ,  *ケイ素 ,  *微細加工 ,  走査電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  電子回折 ,  電子銃 ,  電圧
準シソーラス用語： 加速電圧 ,  三次元構造

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (9件)：

• M. Motohashi, K. Shimizu, T. Suzuki, M. Niwa, Mater. Res. Express, 1, 045027 (2014)
• S. Lv, Z. Li, J. Liao, Z. Zhang, W. Miao, J. Vac. Sci. Technol. B, 33, 02B101T (2015)
• M. D. Korzec, M. Roczen, M. Schade, B. Wagner, B. Rech, J. Appl. Phys., 115, 074304 (2014)
• H. Yano, J. Yasunaga, K. Shimizu, K. Konno, T. Suzuki, M. Niwa, M. Motohashi, Nano and Giga Challenges in Electronics, Photonics and Renewable Energy (NGC2014), Phoenix, No.60 (2014)
• L. Liu, V. V. Kuryatkov, S. A. Nikishin, H. R. Harris, M. Holtz, J. Vac. Sci. Technol. B, 31, 021801 (2013)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電気化学 ,  手法 ,  作製 ,  三次元構造体 ,  観察