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J-GLOBAL ID：201502283129511541   整理番号：15A0475665

反応性スパッタリング非晶質アルミナ薄膜中の焼なまし誘導γ相核形成,クラスタ化,および界面動力学の透過型電子顕微鏡法とX線光電子分光法研究

A transmission electron microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy study of annealing induced γ-phase nucleation, clustering, and interfacial dynamics in reactively sputtered amorphous alumina thin films

著者 (5件)： KUMAR A. K. Nanda (ECMS Div., Central Electro Chemical Res. Inst., Karaikudi, IND) ,  PRASANNA S. (Dep. of Physics, PSG Coll. of Technol., Coimbatore, IND) ,  SUBRAMANIAN B. (ECMS Div., Central Electro Chemical Res. Inst., Karaikudi, IND) ,  JAYAKUMAR S. (Dep. of Physics, PSG Inst. of Technol. and Applied Res., Coimbatore, IND) ,  RAO G. Mohan (Dep. of Instrumentation, Indian Inst. of Sci., Bangalore, IND)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 117  号： 12  ページ： 125307-125307-11  発行年： 2015年03月28日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *アルミナ ,  *薄膜 ,  γ相 ,  *核形成 ,  クラスタ化 ,  界面 ,  *反応性スパッタリング ,  *透過型電子顕微鏡 ,  *X線光電子分光法 ,  *焼なまし ,  非晶質 ,  熱安定性
準シソーラス用語： *酸化物薄膜

分類 (5件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  酸化物の結晶成長  (BK13050I) ,  熱物性一般  (BL05010C) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  電子分光法  (BK01050P)

タイトルに関連する用語 (13件)： 反応性スパッタリング ,  非晶質 ,  アルミナ薄膜 ,  焼なまし ,  誘導 ,  γ相 ,  核形成 ,  クラスタ化 ,  界面 ,  動力学 ,  透過型電子顕微鏡法 ,  X線光電子分光法 ,  研究