文献

J-GLOBAL ID：201502287262426030   整理番号：15A0472241

固体ガスセンサの新展開 2 半導体ガスセンサ 微細構造制御に関する最近の研究開発動向

著者 (1件)： 清水康博 (長崎大 大学院工学研究科)
資料名： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
巻： 83  号： 4  ページ： 276-281  発行年： 2015年04月05日 
JST資料番号： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体ガスセンサ材料のナノ構造やガス拡散路の制御(メソ・マクロ細孔制御及び三次元形態の制御)について,最近の研究開発動向を紹介した。センサ材料のメソ細孔構造制御(メソポーラスSnO₂,その他のメソポーラス半導体ガスセンサ材料)とセンサ材料の三次元形態制御(三次元形態制御の状況,中空透かし彫り型酸化物半導体粒子)について述べた。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  半導体 ,  *センサ ,  *半導体素子 ,  *微細構造 ,  ナノ構造 ,  ガス拡散法 ,  経路 ,  細孔 ,  穴 ,  構造 ,  中空体 ,  *細孔構造 ,  酸化スズ
準シソーラス用語： *半導体センサ ,  ガス拡散 ,  拡散経路 ,  メソ細孔 ,  マクロ孔 ,  三次元構造

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 固体 ,  ガスセンサ ,  展開 ,  微細構造 ,  研究 ,  開発動向