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J-GLOBAL ID：201502292455394562   整理番号：15A0227000

微細構造の加工について,変位センサ組込みボイスコイルモータベース高速工具サーボの開発

The Development of an Displacement Sensor Embedded Voice Coil Motor Based Fast-Tool-Servo for the Machining of Micro-structure

著者 (8件)： YANG Zhijun (Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN) ,  BAI Youdun (Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN) ,  WANG Sujuan (Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN) ,  CHEN Xindu (Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN) ,  LIU Qiang (Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN) ,  LI Ketian (Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN) ,  WANG Han (Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN) ,  CHEN Xin (Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 625  ページ： 258-261  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ光学レンズアレイの作成に用いる膜ベースのボイスコイルモータを使った高速工具サーボについて述べた。励振力は入力電流に比例し,実際の振れは組込みキャパシタンスで検出される切削力を推定できる。種々のストローク範囲を得るために,剛性は種々の厚さのカバーを変えて調節される。

シソーラス用語： リニアモータ ,  微細構造 ,  センサ ,  サーボ機構 ,  位置決め装置 ,  アレイ ,  レンズ ,  可動コイル ,  *超精密加工
準シソーラス用語： ボイスコイル ,  *ボイスコイルモータ ,  レンズアレイ ,  高速工具サーボ ,  *変位センサ

分類 (1件)： 旋削,中ぐり  (QC02020G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細構造 ,  変位センサ ,  組込み ,  ボイスコイルモータ ,  工具 ,  開発