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J-GLOBAL ID：201502294894710643   整理番号：15A0654098

転写鋳造と長尺原子間力顕微鏡観察による微細構造の三次元ナノ計測学

Three-dimensional nanometrology of microstructures by replica molding and large-range atomic force microscopy

著者 (9件)： STOEHR Frederik (DTU DANCHIP, Technical Univ. of Denmark, Building 347, Kgs. Lyngby DK-2800, DNK) ,  MICHAEL-LINDHARD Jonas (DTU DANCHIP, Technical Univ. of Denmark, Building 347, Kgs. Lyngby DK-2800, DNK) ,  SIMONS Hugh (Dep. of Physics, Technical Univ. of Denmark, Kgs. Lyngby DK-2800, DNK) ,  SIMONS Hugh (ID06, European Synchrotron Radiation Facility, Grenoble 38000, FRA) ,  POULSEN Henning Friis (Dep. of Physics, Technical Univ. of Denmark, Kgs. Lyngby DK-2800, DNK) ,  HUEBNER Joerg (DTU DANCHIP, Technical Univ. of Denmark, Building 347, Kgs. Lyngby DK-2800, DNK) ,  HANSEN Ole (DTU Nanotech and CINF, Technical Univ. of Denmark, Building 345E, Kgs. Lyngby DK-2800, DNK) ,  GARNAES Joergen (Danish Fundamental Metrology, Building 307, Kgs. Lyngby DK-2800, DNK) ,  JENSEN Flemming (DTU DANCHIP, Technical Univ. of Denmark, Building 347, Kgs. Lyngby DK-2800, DNK)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 141  ページ： 6-11  発行年： 2015年06月15日 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 我々は,高アスペクト比の三次元形状を有する微細構造の特徴評価をするために転写鋳造と長距離原子間力顕微鏡観察(AFM)を用いた。ポリジメチルシロキサン(PDMS)を用いた微細構造の反転鋳造により,深く狭い空洞を測定する場合のAFMプローブの不能性を回避できる。我々は,シリコンウエハ上に反応性イオンエッチングで製作した円筒状の深い空洞を調べ,その深さを関数とした側壁曲率半径(ROC)を特定した。統計的な分析により複写方法の信頼性と再現性を検証した。ROCの平均値は,(6.31±0.06)μm,即ち1%の精度で確定できた。一方,ROCの直線性は上面から底面に対して(0.52±0.03)μm劣化した。ナノメータサイズの表面欠陥もまた良好に転写できた。さらに,この方法により,異なるプロセス処理を経たウエハの複数の特徴を一つの試料にまとめることができ,製造プロセス最適化のための特性評価プロセスを加速できる。この方法をその三次元形状に著しく影響を受けるX線反射光学の研究に適用した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *アスペクト比 ,  微細構造 ,  *原子間力顕微鏡 ,  転写 ,  *鋳造 ,  光学 ,  X線 ,  *X線反射 ,  計測 ,  *ナノテクノロジー ,  *三次元測定 ,  顕微鏡観察 ,  スペクトロスコピー
準シソーラス用語： X線光学 ,  高アスペクト比

分類 (3件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  鋳造法,鋳込  (WC01030Q) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 転写 ,  鋳造 ,  長尺 ,  原子間力顕微鏡観察 ,  微細構造 ,  ナノ計測