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J-GLOBAL ID：201502295109232237   整理番号：15A0622390

ゾル-ゲルSiO₂膜に基づいた高感度弾性表面波(SAW)湿度センサ:検出特性とメカニズムの調査

Highly sensitive surface acoustic wave (SAW) humidity sensors based on sol-gel SiO₂ films: Investigations on the sensing property and mechanism

著者 (9件)： TANG Yongliang (School of Physical Electronics, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN) ,  LI Zhijie (School of Physical Electronics, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN) ,  MA Jinyi (Sichuan Inst. of Piezoelectric and Acousto-optic Technol., Chongqing 400060, CHN) ,  WANG Lu (Sichuan Inst. of Piezoelectric and Acousto-optic Technol., Chongqing 400060, CHN) ,  YANG Jin (Sichuan Inst. of Piezoelectric and Acousto-optic Technol., Chongqing 400060, CHN) ,  DU Bo (Sichuan Inst. of Piezoelectric and Acousto-optic Technol., Chongqing 400060, CHN) ,  YU Qingkai (Ingram School of Engineering and MSEC, Texas State Univ., San Marcos, TX 78666, USA) ,  ZU Xiaotao (School of Physical Electronics, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN) ,  ZU Xiaotao (Inst. of Fundamental and Frontier Sciences, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu, 610054, CHN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 215  ページ： 283-291  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゾル-ゲルSiO₂膜に基づいた弾性表面波(SAW)湿度センサのセンシング特性及び機構を研究した。SEM,AFM,及び多孔性研究は,53.5%の多孔質をもつ多孔質構造をもつことを示した。SAW型及び抵抗型湿度センサに基づく半導体酸化物(ZnO,Co₃O₃,CuO,TiO₂)とSiO₂膜間の比較研究を通して,膜伝導率(電気負荷効果)の変化のみならず膜の質量負荷の変化(質量負荷効果)も,RH(相対湿度)値が変化するとSAW湿度センサの応答に寄与することがわかった。さらに,質量負荷効果が,SAW湿度センサの膜多孔質構造によるSiO₂膜ベースのSAW湿度センサの応答への主な寄与となっていた。結果として,SiO₂膜に基づいたセンサは,はるかに高い応答を示し,応答は,SiO₂膜の厚さの増加と共に向上した。(-230nm)のSiO₂膜厚のセンサはRH値が30-93%に増加すると-520kHzの応答を示したCopyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ゾル-ゲル法 ,  *二酸化ケイ素 ,  *半導体薄膜 ,  *高感度 ,  *弾性表面波素子 ,  *湿度センサ ,  電気装荷 ,  走査電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  相対湿度 ,  膜厚 ,  酸化コバルト ,  酸化銅 ,  酸化亜鉛 ,  酸化チタン ,  X線回折 ,  多孔性 ,  電気伝導率 ,  周波数応答

分類 (1件)： 湿度測定,湿度計  (AD06020V)

タイトルに関連する用語 (8件)： ゾル-ゲル ,  SiO2 ,  高感度 ,  弾性表面波 ,  SAW ,  湿度センサ ,  メカニズム ,  調査