特許
J-GLOBAL ID：201503000147255539

物理量検出センサモジュールおよび物理量検出システム

発明者：
近藤 淳

近藤 淳 について

, 
成島 彰洋

成島 彰洋 について


出願人/特許権者：
国立大学法人静岡大学

国立大学法人静岡大学 について


代理人 (1件)： 居藤 洋之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-018194
公開番号（公開出願番号）：特開2015-145808
出願日： 2014年02月03日
公開日（公表日）： 2015年08月13日
要約：
【課題】物理量を検出するセンサとしての感知幅を広くすることによって用途を拡大することができる物理量検出センサモジュールおよび物理量検出システムを提供する。【解決手段】物理量検出システム100は、センサモジュール200とホスト装置300とを備えている。センサモジュール200は、表面弾性波を発生させる圧電基板201上に表面弾性波変換IDT210と表面弾性波反射IDT220とを備えている。表面弾性波変換IDT210は、高周波電気信号と表面弾性波とを相互に変換する。表面弾性波反射IDT220は、湿度センサ240に対して並列コンデンサ250が並列接続されており、表面弾性波を湿度センサ240のインピーダンスに応じて反射する。並列コンデンサ250は、表面弾性波反射IDT220に湿度センサ240のみを接続した場合に表面弾性波反射IDT220から反射される表面弾性波の振幅値が最小となる静電容量に設定されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電効果を示す圧電体で構成されるとともに表面弾性波を伝播可能な圧電基板と、 前記圧電基板上にて互いに対向配置された2つの第1櫛歯状電極を有して高周波電気信号と前記表面弾性波とを相互に変換する表面弾性波変換手段と、 前記圧電基板上に互いに対向配置された2つの第2櫛歯状電極を有して前記表面弾性波変換手段によって励振された前記表面弾性波を反射する表面弾性波反射手段と、 前記表面弾性波反射手段に接続されて検出対象から受ける物理量に応じてインピーダンスが変化するインピーダンス変化型センサと、 前記表面弾性波反射手段に対して直列接続されるとともに前記インピーダンス変化型センサに対して並列接続される並列コンデンサとを備えることを特徴とする物理量検出センサモジュール。
IPC (3件)：
G01D 21/00 ,  H03H 9/145 ,  G01D 5/48
FI (3件)：
G01D21/00 G ,  H03H9/145 Z ,  G01D5/48 B
Fターム (24件)：
2F076BA01 ,  2F076BD01 ,  2F076BD05 ,  2F076BD07 ,  2F076BD08 ,  2F076BD10 ,  2F076BD11 ,  2F076BD12 ,  2F076BD13 ,  2F076BD15 ,  2F076BE01 ,  2F076BE02 ,  2F076BE05 ,  2F076BE10 ,  2F076BE18 ,  2F077AA27 ,  2F077HH14 ,  2F077LL08 ,  5J097AA04 ,  5J097AA11 ,  5J097BB05 ,  5J097DD14 ,  5J097KK08 ,  5J097LL01
引用特許：
出願人引用 (3件)

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