特許
J-GLOBAL ID：201503000224248698

広角回転機構を有する露光装置

発明者：
入田亮一

入田亮一 について

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原 史朗

原 史朗 について

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クンプアン ソマワン

クンプアン ソマワン について


出願人/特許権者：
株式会社ピーエムティー

株式会社ピーエムティー について

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独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 武和国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-178468
公開番号（公開出願番号）：特開2015-050197
出願日： 2013年08月29日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
要約：
【課題】露光装置。【解決手段】ミニマルファブ生産システムに使用される露光装置であって、架台21に固定された中心軸11と、架台をそれぞれX軸およびY軸方向にそれぞれ位置調整するX軸およびY軸移動手段32,33と、中心軸に外挿されて中心軸に対しθ軸方向に回転可能かつZ軸方向に移動可能な外周ステージ12と、外周ステージをθ軸方向に回転位置調整させるθ軸移動手段30およびZ軸方向に移動させるZ軸移動手段31とを有し、θ軸移動手段は他の移動手段よりも最上位に配置されている。外周ステージ12はウェハを載置する第1載置面12dと第1真空吸着口12aとを有し、中心軸11はウェハを載置する第2載置面11dと第2真空吸着口11aとを有しており、第1載置面と第2載置面とが同一平面上に位置すると第2真空吸着口が機能し、第1載置面が第2載置面よりも上方に位置すると第1真空吸着口が機能するとともにθ軸移動手段を駆動するように制御される露光装置。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ハーフインチサイズのウェハを用いるミニマルファブ生産システムに使用される所定の外形を有する単位処理装置に内蔵される露光装置であって、架台に固定された中心軸と、前記架台をそれぞれX軸方向に位置調整するX軸移動手段およびY軸方向に位置調整するY軸移動手段と、前記中心軸に外挿されて前記中心軸に対しθ軸方向に回転可能かつZ軸方向に移動可能な外周ステージと、前記外周ステージをθ軸方向に回転位置調整させるθ軸移動手段およびZ軸方向に移動させるZ軸移動手段とを有し、 前記θ軸移動手段は他の前記移動手段よりも最上位に配置されていると共に、 前記外周ステージは、その上端面に形成されてウェハを載置する第1載置面と、前記第1載置面に開口する第1真空吸着口とを有し、前記中心軸は、その上端面に形成されてウェハを載置する第2載置面と、前記第2載置面に開口する第2真空吸着口とを有し、 前記第1真空吸着口および前記第2真空吸着口は、前記第1載置面および前記第2載置面の相対的位置に応じて真空吸着機能が切り替わることを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G03F 9/00
FI (4件)：
H01L21/68 K ,  H01L21/30 503A ,  G03F7/20 521 ,  G03F9/00 H
Fターム (28件)：
5F131AA02 ,  5F131BA13 ,  5F131CA18 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB51 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131FA17 ,  5F131FA26 ,  5F131FA34 ,  5F131KA14 ,  5F131KB03 ,  5F131KB53 ,  5F131KB54 ,  5F146AA06 ,  5F146CC01 ,  5F146CC03 ,  5F146CC06 ,  5F146CC08 ,  5F146CC13 ,  5F146CD01 ,  5F146CD05 ,  5F146DB05 ,  5F146DC10
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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