特許
J-GLOBAL ID：201503001365963959

極紫外光源のためのターゲット材料供給装置

発明者：
デ デア シルヴィア

デ デア シルヴィア について

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ヴァスチェンコ ゲオルギー オー

ヴァスチェンコ ゲオルギー オー について

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バウムガート ピーター エム

バウムガート ピーター エム について

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バウリング ノーバート アール

バウリング ノーバート アール について


出願人/特許権者：
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. について


代理人 (2件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-537715
公開番号（公開出願番号）：特表2015-532521
出願日： 2013年09月25日
公開日（公表日）： 2015年11月09日
要約：
極紫外(EUV)光源のためのターゲット材料供給装置は、第1の端部と、第2の端部と、第1及び第2の端部間に定められた側壁とを含むチューブを含む。チューブの外側面の少なくとも一部分は、電気絶縁材料を含み、第1の端部は、加圧ターゲット材料を受け入れ、第2の端部は、ターゲット材料液滴の流れを生成するために加圧ターゲット材料が通過するオリフィスを定める。ターゲット材料供給装置はまた、チューブの外側面上に導電コーティングを含む。コーティングは、チューブの外側面を接地に電気的に接続し、それによって外側面上の表面電荷を低減するように構成される。【選択図】 図3B
請求項（抜粋）：
極紫外(EUV)光源のためのターゲット材料供給装置であって、 第1の端部と、第2の端部と、該第1及び第2の端部間に定められた側壁とを含むチューブであって、該チューブの外側面の少なくとも一部分が、電気絶縁材料を含み、該第1の端部が、加圧ターゲット材料を受け入れ、該第2の端部が、ターゲット材料液滴の流れを生成するために該加圧ターゲット材料が通過するオリフィスを定める前記チューブと、 前記チューブの前記外側面上の導電コーティングであって、該コーティングが、該チューブの該外側面を接地に電気的に接続し、それによって該外側面上の表面電荷を低減するように構成された前記導電コーティングと、 を含むことを特徴とする装置。
IPC (1件)：
H05G 2/00
FI (1件)：
H05G2/00 K
Fターム (6件)：
4C092AA06 ,  4C092AA14 ,  4C092AA17 ,  4C092AB15 ,  4C092AC09 ,  4C092CE01
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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