特許
J-GLOBAL ID：201503002428497011

ガスセル駆動型配向非依存性搬送装置

発明者：
アショク ヴィー ジョシ

アショク ヴィー ジョシ について

, 
ジョン ハワード ゴードン

ジョン ハワード ゴードン について


出願人/特許権者：
マイクロリン エルエルシー

マイクロリン エルエルシー について


代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  大倉 昭人 ,  福尾 誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-528713
公開番号（公開出願番号）：特表2015-533975
出願日： 2013年08月26日
公開日（公表日）： 2015年11月26日
要約：
配向非依存性搬送装置(100)を開示する。搬送装置(100)は、ガスチャンバ、搬送チャンバ、ガスセル(110)、及び搬送開口(112)を含む。ガスチャンバは、ガス側剛体部(102)及びガス側フレキシブル障壁(104)を含む。ガス側フレキシブル障壁(104)は、ガス側剛体部(102)に密着している。搬送チャンバは、搬送側剛体部(106)及び搬送側フレキシブル障壁(108)を含む。搬送側フレキシブル障壁(108)は、搬送側剛体部(106)に密着し、ガス側フレキシブル障壁(104)に隣接するように配向されている。ガスセル(110)は、ガスチャンバのガス側剛体部(102)に結合されている。ガスセル(110)は、ガスチャンバ内のガス圧を増加させて、ガス側フレキシブル障壁(104)を膨張させる。ガス側フレキシブル障壁(104)の膨張は、搬送側フレキシブル障壁(108)に圧縮力を加えて、搬送物質が搬送チャンバから出ることを可能にする。
請求項（抜粋）：
ガス側剛体部及びガス側フレキシブル障壁を具えたガスチャンバであって、当該ガス側フレキシブル障壁が当該ガス側剛体部に密着しているガスチャンバと; 搬送側剛体部及び搬送側フレキシブル障壁を具えた搬送チャンバであって、当該搬送側フレキシブル障壁が当該搬送側剛体部に密着し、当該搬送側フレキシブル障壁が前記ガス側フレキシブル障壁に隣接するように配向されている搬送チャンバと; 前記ガスチャンバの前記ガス側剛体部に結合され、前記ガスチャンバ内のガス圧を増加させて前記ガス側フレキシブル障壁を膨張させるガスセルであって、前記ガス側フレキシブル障壁の膨張が、前記搬送側フレキシブル障壁に圧縮力を加えるガスセルと; 前記搬送側フレキシブル障壁の前記搬送チャンバ内への圧縮に応答して、搬送物質が前記搬送チャンバから出ることを可能にする搬送開口と を具えていることを特徴とする配向非依存性搬送装置。
IPC (2件)：
F04B 43/06 ,  F04B 45/053
FI (2件)：
F04B43/06 A ,  F04B45/04 102A
Fターム (13件)：
3H077AA01 ,  3H077AA11 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD09 ,  3H077DD14 ,  3H077EE15 ,  3H077FF02 ,  3H077FF03 ,  3H077FF08 ,  3H077FF13 ,  3H077FF45
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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