特許
J-GLOBAL ID：201503002577393644

流体制御弁

発明者：
安田 忠弘

安田 忠弘 について

, 
瀧尻 興太郎

瀧尻 興太郎 について

, 
林 繁之

林 繁之 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場エステック

株式会社堀場エステック について


代理人 (2件)： 西村 竜平 ,  齊藤 真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-264604
公開番号（公開出願番号）：特開2015-121898
出願日： 2013年12月20日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：
【課題】流体制御弁としての健全性について常に正確に診断する事が可能な流体制御弁を提供する。【解決手段】弁座63と、前記弁座63に対して接離可能に設けられた弁体7と、印加されている電流又は電圧に基づいて、自身が出力している力又は自身の変位が推定可能なアクチュエータ3と、前記アクチュエータ3と前記弁体7との間に設けられ、前記アクチュエータ3の変位を前記弁体7へと伝達するプランジャ5と、前記アクチュエータ3から出力されている力、又は、前記アクチュエータ3、前記プランジャ5、もしくは、前記弁体7の変位を測定するモニタリングセンサと、を備えた。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
弁座と、 前記弁座に対して接離可能に設けられた弁体と、 前記弁体を変位させるアクチュエータと、 前記アクチュエータから出力されている力、又は、前記弁体の変位を測定するモニタリングセンサと、 前記アクチュエータに印加される電流又は電圧によって前記弁座と前記弁体との間の開度を制御する開度制御部と、を備え、 前記開度制御部が、目標流体量と測定流体量との偏差に基づいて前記アクチュエータをフィードバック制御する流体量ベース制御部と、 前記偏差が所定の閾値範囲内にある状態で前記モニタリングセンサにより測定された前記アクチュエータから出力されている力、又は、前記弁体の変位である実績値と、その時の目標流体量を対にして記憶する実績値記憶部と、 前記流体量ベース制御部により前記アクチュエータが制御されない場合において、前記モニタリングセンサで測定される前記アクチュエータから出力されている力、又は、前記弁体の変位が、前記目標流体量に対応する実績値となるように前記アクチュエータを制御する実績値ベース制御部と、を具備していることを特徴とする流体制御弁。
IPC (2件)：
G05B 23/02 ,  F16K 31/02
FI (2件)：
G05B23/02 T ,  F16K31/02 A
Fターム (13件)：
3H062AA02 ,  3H062AA15 ,  3H062BB10 ,  3H062CC07 ,  3H062CC15 ,  3H062DD01 ,  3H062EE06 ,  3H062FF07 ,  3H062HH02 ,  3H062HH10 ,  5H223BB05 ,  5H223BB08 ,  5H223EE05
引用特許：
出願人引用 (4件)
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