特許

J-GLOBAL ID：201503002894518029

微細構造体成形方法

発明者： 内藤 章弘 ,  越智 昭太 ,  伊東 宏 ,  古木 賢一 ,  原 政樹 ,  焼本 数利
出願人/特許権者： 株式会社日本製鋼所
代理人 (1件)： 鶴亀 國康
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-103887
公開番号（公開出願番号）：特開2014-223751
特許番号：特許第5754749号
出願日： 2013年05月16日
公開日（公表日）： 2014年12月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 下金型に溶融樹脂を塗布して形成した塗膜を、前記下金型と上金型とにより押圧し前記塗膜の平面部と縁端部に微細構造を転写成形してこれを冷却固化し、前記平面部と縁端部に前記微細構造を有するとともに、前記縁端部にバリのない平板状の微細構造体を成形する方法であって、 前記下金型に、平板状の塗膜を形成する段階と、 前記上金型と下金型の加熱を開始するとともに型締めを行って前記塗膜を等容温度変化させるように所定の型温度まで昇温して微細構造の転写成形を行う段階と、 前記上金型と下金型の冷却を開始し型温度が所定温度になった後、型開きを行って成形された微細構造体を取り出す段階と、を有する微細構造体成形方法。

IPC (5件)：

B29C 43/52 ( 200 6.01) ,  B29C 59/02 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  B29C 43/58 ( 200 6.01) ,  B29L 7/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

B29C 43/52 ,  B29C 59/02 Z ,  H01L 21/30 502 D ,  B29C 43/58 ,  B29L 7:00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 成形体の製造方法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-239567   出願人：株式会社日本製鋼所
• 転写成形用金型及び微細構造体製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-213530   出願人：株式会社日本製鋼所