特許
J-GLOBAL ID：201503003654234436
プログラム、生成方法、生成装置、駆動装置、加工装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-227536
公開番号（公開出願番号）：特開2015-088059
出願日： 2013年10月31日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：
【課題】対象物の状態量に係る伝達関数の変動の影響を軽減した電流の時系列データを得るのに有利な技術を提供する。【解決手段】対象物を駆動するためのモータを含む制御系を第1状態から第2状態へ遷移させるために前記モータに供給する電流の時系列データをコンピュータに生成させるプログラムであって、前記対象物の振動モード及び運動モードのうちの特定モードの状態量を前記時系列データから推定するための複数のモデルによりそれぞれ得られる複数の状態量のばらつきの上限値を制約する条件を含む制約条件を満たすように、且つ、該時系列データを評価するための評価関数の値が許容条件を満たすように、該時系列データを前記コンピュータに生成させることを特徴とするプログラムを提供する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
対象物を駆動するためのモータを含む制御系を第1状態から第2状態へ遷移させるために前記モータに供給する電流の時系列データをコンピュータに生成させるプログラムであって、
前記対象物の振動モード及び運動モードのうちの特定モードの状態量を前記時系列データから推定するための複数のモデルによりそれぞれ得られる複数の状態量のばらつきの上限値を制約する条件を含む制約条件を満たすように、且つ、該時系列データを評価するための評価関数の値が許容条件を満たすように、該時系列データを前記コンピュータに生成させることを特徴とするプログラム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05B13/02 J
, G05D3/12 305Z
5H004GA14
, 5H004GA15
, 5H004GB15
, 5H004HA07
, 5H004HB07
, 5H004KC03
, 5H004KC05
, 5H303AA01
, 5H303BB06
, 5H303BB14
, 5H303CC06
, 5H303DD01
, 5H303FF03
